硅通孔(TSV)和玻璃通孔(TGV)是常用两种通孔互联加工方式。与硅相比,玻璃材质具有高频电学特性优良、机械稳定性强、成本低、幅面不受限等优异特性,因此TGV技术被广泛应用于射频组件、光电器件、MEMS器件等特殊应用场景。大族激光全资控股子公司—深圳市大族半导体装备科技有限公司大族显视与半导体的TGV技术,采用自主研发的ICICLES技术,光束一致性好,稳定性高;能量利用率高,对激光器要求较低;焦深控制简单,且技术成熟、应用范围广。李博在大会上重点介绍了以上几种激光加工技术,除此之外,大族显视与半导体还可提供全自动IC打标、刀轮切割、全自动IC卷盘封装、FT Handler测试分选、晶圆环切等技术解决方案。公司现有产品:
飞秒激光增强玻璃蚀刻通孔机(FLEE-TGV)
设备型号:DG100-G1201A应用范围:适用于
非强化玻璃的钻孔加工
主要特点:设备特点:1、国内
率先导入TGV工业量产
2、加工直径最大12’’、厚度≤1mm3、高性能、高可靠性飞秒激光4、高性能控制系统,实现高效率高精度加工能力5、搭载自主研发光学模组,适应多种材料,孔圆度≥95%6、多种轨迹生成与加工方式,智能化人机交互
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