最被忽视的半导体股票（设备零部件），部分股票在大盘调整时候，已经开始悄悄走强。最主要的六大系统部件全部整理

国内晶圆厂大规模扩产，将带来半导体设备/材料领域的国产替代。此前我们已经多次对半导体设备/材料领域做出过梳理，本期我们重点梳理一个很容易被忽视的领域——半导体关键零部件。

半导体零部件品类多、空间大

半导体设备精密零部件指的是半导体设备中所用到的上游精密零部件，是半导体设备的重要组成部分，具体包括各种Pump（泵）、Valve（阀门）、ORing（密封圈）、ESC（静电吸盘）、ShowerHead（气体喷淋头）等，同时晶圆制造厂商也会采购各种精密零部件以支撑产线正常持续生产或作为备件使用。

1.喷淋头
江丰电子成立于2005年，成立以后主要从事高纯溅射靶材业务，产品包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等各种溅射靶材，主要应用于半导体、平板显示等领域。公司是国内溅射靶材龙头，技术水平处于全球领先地位，产品已在IC制造领域7nm节点批量供货，5nm节点部分产品也已评价通过并量产，客户覆盖台积电、中芯国际、SK海力士、京东方、华星光电等各领域。公司横向拓展半导体设备精密零部件业务，公司布局产品众多，涉及PVD、CVD、刻蚀、清洗等多个环节，产品包括PVD机台用ClampRing、Collimator，CVD及etching机台用face plate、shower head等，CMP用金刚石研磨片、保持环等，以及传输腔体、反应腔体等，近年来逐渐开花结果迎来收获期。

2.真空系统
新莱应材于1991年在中国台湾成立，于1995年组建真空电子部门，于2000年将总部迁至江苏昆山。公司目前主要业务包括用于食品安全和生物医药领域的洁净应用材料，用于泛半导体领域的高纯及超高纯应用材料，以及用于液态食品的纸铝塑复合无菌包装材料、液态食品无菌灌装机械及相关配套设备。泛半导体领域，公司业务主要为以高纯不锈钢为母材的应用材料的研产销，产品为真空腔体、管道、管件、泵、阀、法兰等，覆盖于半导体制程设备和厂务端所需的真空系统和气体管路系统。在设备端，公司已涵盖AMAT、LamResearch、北方华创、中微公司、电科48所等国内外知名设备厂商；而在厂务端，公司面对终端客户，如无锡海力士、台积电、英特尔、三星、长江存储、华星光电、惠科等。

3.金属结构件
华亚智能始建于1998年，设立以来持续深耕精密金属结构制造市场，专注于向国内外领先的高端设备制造商提供“小批量、多品种、工艺复杂、精密度高”的定制化精密金属结构件产品。公司产品主要为金属结构件和设备维修件，其中精密金属结构件产品广泛应用于半导体设备领域、新能源及电力设备领域、医疗器械领域和通用设备领域；设备维修件是半导体高端设备上的阀门维修。
半导体设备领域，公司主要产品为：应用于晶圆刻蚀气体输送中心、晶圆（清洗、沉积）控制平台、晶圆成膜（PECVD）设备气体输送平台、超高亮度LED薄膜沉积设备、全自动锡膏印刷机、晶圆检测设备（AWX）成像检测平台等半导体设备的精密金属结构件。设备领域，公司客户为超科林、ICHOR、捷普、天弘、依工电子等设备部件制造商；已进入半导体设备国际巨头AMAT、LamResearch，晶圆检测设备国际知名制造商RudolphTechnologies和国内领先制造商中微半导体的供应链体系，为刻蚀、沉积、晶圆检测等设备提供精密金属结构件。

4.介质供应系统
正帆科技 。公司电子工艺设备的主要产品包括特气柜、化学品中央供应柜、分流箱、化学品稀释混配单元、液态源输送设备，以及用于半导体工艺设备的流体输送系统/设备（GasBox）等。业务的主要功能是将客户所需的高纯气体、化学品供应至客户的工艺机台，系统中的核心产品即为供应过程中实现“输送分配、蒸发冷凝、混配稀释”等基本功能的独立设备/单元。
公司在泛半导体、光纤通信、医药制造等领域均积累了强大的客户资源，客户包括中芯国际、长江存储、长鑫存储、京东方、三安光电等，公司已成功打入大陆领先的中芯国际14纳米制程Fab厂的供应链体系，并为其提供特气、大宗气体相关设备及系统服务。

5.射频电源
英杰电气  在半导体行业，公司产品主要用于电子级多晶硅、半导体用单晶硅、碳化硅晶体、LED用蓝宝石、LED外延片等材料生产设备的电源控制。公司的特种电源产品包含应用于MOCVD设备的PD直流电源，2017年开始大批量生产并实现进口替代，成为中微半导体MOCVD电源的供应商。同时，公司正在研发高端射频电源，可广泛应用于半导体刻蚀、离子注入、太阳能电池PECVD、真空镀膜等行业领域，产品已小批量试制、交客户测试。

6.真空泵
汉钟精机成立于1998年，目前主要业务为压缩机（组）产品（包括商用中央空调压缩机、冷冻冷藏压缩机、热泵压缩机、空气压缩机等）和真空产品（包括太阳能光伏和半导体领域）。公司压缩机在业内具有高知名度及信任度，在国内制冷压缩机领域常年占据龙头地位，在空气压缩机、铸件等产品也有一定份额。
真空产品方面，公司在太阳能光伏产业已深耕多年，主要应用于拉晶及电池片制程，已有较大市场份额，客户包括隆基股份、晶盛、中环等知名厂家；同时公司已有能满足半导体生产最先进工艺的全系列中真空干式真空泵产品，有三个系列可用于多种半导体工艺。

7.富创精密
主要产品：过渡腔、传输腔、流量计底座、离子注入icon机模组、匀气盘等；公司是稀缺的平台化半导体设备零部件龙头，引领国产替代；半导体设备零部件为“卡脖子”环节，双重国产替代前景可观；深度受益半导体设备及零部件国产化，产能释放迎黄金发展期

8.至纯科技：
公司是半导体清洗设备龙头企业，切入高阶单片湿法工艺模块、高纯工艺零部件领域。最近三年，公司营收和扣非净利润规模呈现持续增长态势。