涂胶显影机主要大客户23年需求明确，高单价的ArFi机台进入放量期：前道涂胶显影机市场空间广阔，21年国内市场空间约10亿美金，国产化率仅2%。美国芯片管制新规下验证和国产替代有望加速，公司23年来自几家已有大客户的订单确定性强，个别客户有望拿到100%份额，受行业资本开支波动影响小。同时ArFi机台通过客户验证，放量趋势明确。

[太阳]涂胶显影高产能平台推出巩固龙头地位，带动已有产品单机价值量大幅提升：涂胶显影机验证需要占用光刻机，验证成本高昂，先发优势明显。22年底公司推出全新一代高产能架构，满配36 Spin处理单元，拓展能力达48 Spin，产能最高可达360片/小时，可全面覆盖KrF、ArF、ArFi、SOC等多种光刻和旋涂应用，高产能架构将带动单价大幅提升。

[太阳]清洗机、后道机台受益客户拓展和新品放量，持续增厚业绩：物理清洗机方面，公司过去主要客户为逻辑、功率客户，随机台调试升级完成，23年存储客户将贡献增量；化学清洗机进展顺利，与国内友商差异化定位，23年送客户验证，逐步贡献批量订单。后道设备将受益疫情放开，台湾大客户有望带来增量。

[太阳]机械手等核心零部件实现自研，未来有望发展外销带来全新增长曲线：公司目前可实现高速高精度机械手的自研自给，机械手广泛应用于各类半导体设备，未来公司有望依托自身积累的核心零部件产业化经验拓展零部件外销业务，带来全新增长曲线。

[礼物]我们预测公司22-24年每股收益分别为2.01、2.65、4.05元，对应22-24年PE为75、57、37倍，维持买入评级。