收入高增，订单饱满。公司 2022 年 Q4 单季度实现营收 7.14 亿元，同比 增长 85.92%，环比增长 52.47%，全年收入达 17.06 亿元，同比增长 125.02%。 其中，PECVD 设备收入 15.63 亿元，同比增长 131.44%；ALD 设备收入 0.33 亿元，同比增长 13.85%；SACVD 设备收入 0.89 亿元，同比增长 117.39%。核 心业务 PECVD 设备保持了领先优势和可观的收入释放速度。 盈利方面，公司 2022 年 Q4 单季度毛利率高达 50.58%，环比提升 0.5 pct，同 比提升 8.3 pct，全年毛利率达 49.27%，同比提升 5.3 pct。毛利率的提高主要 得益于核心业务 PECVD 的盈利提升，2022 年全年 PECVD 业务毛利率达 49.41%，同比提升 6.8 pct。2022 年 Q4 单季度公司实现归母净利润 1.31 亿 元，同比增长 1145.16%，环比增长 1.24%，净利率达 18.12%。 订单方面，2022 年公司新签订单金额 43.62 亿元，同比增长 95.36%，年底在 手订单金额达 46.02 亿元（不含 Demo 订单），为后续业绩增长提供有力保障。
客户导入顺利推进，产品线稳步拓展。除了已经形成销售收入的 PECVD、 ALD、SACVD 设备以外，公司 2022 年相继推出了 HDPCVD 和 Hybrid Bonding 设备，各产品的验证导入均在有序推进。 1）PECVD：工艺覆盖率持续提升，先进膜 LoK I、ACHM、ADC I、HTN 等工 艺设备已通过客户验证，进入量产线，配套 HTN 的 UV Cure 设备亦实现销售。 2）ALD：PEALD 实现销售并获得不同客户订单，新推出的 ThermalALD 设备 已在客户验证阶段，用于 Al2O3 等金属化合物沉积。 3）SACVD：国内稀缺供应商，全年实现 5 台销售。 4）HDPCVD：已出货客户端，并于 2023 年来通过验证实现销售。 5）Hybrid Bonding：推出晶圆混合键合和表面预处理的系列设备，WOW 和 COW 的键合设备均已出货客户端进行验证。
投资建议：公司作为国内薄膜设备龙头，展现了超预期的国产替代能力和盈 利增长，我们预计公司 2023-2024 年营收 25.40/36.50/48.86 亿元，对应当前 股价的 PS 分别为 22/15/11 倍；归母净利润 4.68/7.09/10.14 亿元，对应现价 PE 分别为 117/77/54 倍。我们看好公司在半导体薄膜设备领域的领先地位，维 持“推荐”评级。
风险提示：产品验证不及预期；下游行业周期性波动；市场竞争加剧。
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