芯片制造的核心之一在于光刻，光刻的核心之一在于光源。不同的光源发出的光的特性有很大差别，特别是其波长、亮度、稳定性等。因此，光源对于光刻工艺的影响极大，那么量产光刻机的光源有哪几种类型？哪种光源最贵？不同光源适用在哪些工艺节点中呢？
光刻的波长有哪几种？
常见波长有7种，其中紫外线3种：G线（波长436nm），H线（405nm），I线（365nm）；深紫外三种：248nm，193nm，157nm；极紫外一种：13.5nm。
光刻机光源有几种？
光刻机的常见光源有：汞灯，LED灯，准分子激光器，EUV光源。
汞灯
汞灯作为光刻机的光源具有悠久的历史，也是光刻机中目前最普遍的光源。汞灯属于气体放电灯的一种，其中充满了低压的汞蒸汽。当电流通过灯时，汞蒸汽中的电子会受到激发，从而发射光。发出的光的波长与汞的原子特性有关。因此叫做汞灯。
- 发光特性：汞灯的发光主要分布在几个特定的紫外和可见光波段，最常见的波长为365nm ，405nm 和 436nm 。
- 寿命：虽然汞灯的寿命相对有限，但在其保质期种，光的输出相对稳定。一旦达到寿命末期，其亮度和稳定性可能会显著下降。
- 热量：汞灯在操作时会产生大量的热量，因此需要有效的冷却系统。
LED灯
LED（发光二极管）的发光原理基于半导体材料的电致发光效应。近年来作为光刻机的光源，在光刻机市场中的比重越来越大。那么，LED作为光刻机光源有哪些优势呢？
长寿命：与汞灯相比，LED具有更长的使用寿命。
不发热：汞灯的外壳在长时间工作后会变得很热，与传统的汞灯等光源相比，LED发出的热量较少。属于冷光源
LED虽好，但是相对于汞灯，价格更贵。
准分子激光器
准分子激光是半导体制造中常用的深紫外(DUV)光源之一。它是一种特殊类型的气体激光，利用气体分子束的放电来产生激光，当放电发生时，它会引起准分子从一个高能态转移到低能态，释放出特定波长的光。准分子激光一般分为三种，分别是：KrF，ArF，F2
KrF (氪氟)准分子激光：
波长：248 nm
应用：由于它的中等波长特性，KrF在多年前的半导体生产中起到了主导作用，特别是在大约180nm到130nm的技术节点。
ArF (氩氟)准分子激光：
波长：193 nm
应用：ArF准分子激光因其较短的波长被用于更先进的技术节点，特别是在90nm到45nm的范围内。随着光刻技术的进步，如浸润光刻，ArF激光器也开始被用于更小的特征尺寸。
F2 (氟)准分子激光：
波长：157 nm
应用：F2准分子激光的波长非常短，理论上可以达到非常高的分辨率。然而，由于这个波长的实际应用中存在的技术挑战，它并未被广泛采用。
EUV光源
EUV光源主要是通过高功率CO2激光照射锡（Sn）微滴产生的。这个过程产生一个高温的等离子体，该等离子体发射出13.5 nm的EUV光。
联域股份专注于中、大功率 LED 照明产品的研发、生产与销售，产品主要应用于户外、工业照明领域，并持续向植物照明、体育照明、防爆照明等特种照明领域拓展。未来，公司还将积极扩展LED光源在光刻机光源等尖端领域应用。
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