事件：公司Q3实现营收3.92亿元，同比增长100%；归母净利润0.74亿元，同比增长309%；实现扣非归母净利润0.33亿元，同比增长104%。

[太阳]公司营收高速成长，合同负债保持较高水平

公司Q3毛利率达40.1%，环比表现稳定。公司继续保持高强度研发，Q3研发费用率为13.3%。受益于行业景气度向好及前期订单的交付，公司营收取得高速增长。Q3为新签订单淡季，由于收入确认高于新签订单，公司Q3合同负债环比有小幅下降，但仍保持在较高水平。

[太阳]前道涂胶显影设备技术领先

目前，公司的offline、I-line、KrF机台均实现了批量销售。公司开发的前道涂胶显影机的高产能架构满足了光刻机不断提升的产能需求，且预计将带来将来产品单价的提升。近期，公司公告收到A公司分两期支付的商业秘密维权赔偿金共计4000万元，反映了公司在涂胶显影设备领域的技术领先性。

[太阳]化学清洗设备将拓展成长空间

公司前道物理清洗机在自动刷压控制技术上已达到国际先进水平；单片式湿法设备在持续研发阶段，目前处于制造样机进行工艺验证阶段。公司瞄准较高难度的硫酸清洗环节，预计将打开未来成长空间。

投资建议：我们预计公司22-24年营收13.46/20.18/28.15亿元，对应PS分别为17/11/8倍，归母净利润分别为1.85/2.50/3.68亿元。继续推荐。

风险提示：公司新产品研发进度不及预期、下游晶圆厂扩产放慢、竞争加剧风险。