中信证券研报指出，近期SSMB方案得到广泛关注，我们认为存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看，SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性，SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看，我国在同步辐射光源领域基础较好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS项目已完成光源出束。目前，SSMB方案已完成理论证明，项目建设有望提上日程。若SSMB方案商业化进展顺利，我国将在光刻机领域取得重大突破并推动国内先进制程领域发展。围绕SSMB主题，我们建议关注两条投资主线：项目基础设施供应商、光刻机关键零部件供应商。
中信证券：存在EUV光源换道超车的可能性
2023-09-21 08:54:11 来源： 同花顺7x24快讯
中信证券研报指出，近期SSMB方案得到广泛关注，我们认为存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看，SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性，SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看，我国在同步辐射光源领域基础较好，在核心零部件自主可控的前提下，HEPS项目已完成光源出束。目前，SSMB方案已完成理论证明，项目建设有望提上日程。若SSMB方案商业化进展顺利，我国将在光刻机领域取得重大突破并推动国内先进制程领域发展。围绕SSMB主题，我们建议关注两条投资主线：项目基础设施供应商、光刻机关键零部件供应商。
