【ASML专家】电话会议
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2023-03-20 13:55:37
#海外采购现状
🔺ASML的1980及以下型号光刻机将仍可供应国内厂商，包括长存等实体清单厂商。
🔺目前新下单1980交期将长达2-3年，中国厂商产线存量的1980及以下型号将继续给予维保支持。
🔺1980可支持 3D NAND 2XXL，逻辑28/14nm，DRAM 17/19nm制造。
#国产化进展
🔺上海微已有浸没式样机。另有龙头设计公司亦在自研浸没式光刻机。
🔺国产设备后续需要持续迭代优化，ASML的初代浸没式光刻机在台积电从试运行到90%以上良率量产花了3-5年时间。
🔺国产浸没式的难点在于：双工件台的精度，光栅等光学部件的精度，控制软件和算法等。镜片已经做得比较成熟。
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