核心观点：

3月设备招标积塔领跑，中芯国际基建项目招标需求较大。2023年3月统计样本中的晶圆产线合计产生97项招标。以中芯国际、粤芯半导体、积塔半导体等产线招标为主。招标设备主要包括量测、离子注入和清洗设备，主要为积塔特色工艺生产线招标。此外，基建项目主要为中芯国际和粤芯12英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期）招标。2023年1-3月，统计样本中的晶圆产线合计招标189项，其中，中芯国际、积塔半导体、粤芯的招标量位居前三。整体而言，设备招标以刻蚀、CVD、沉积、扩散设备为主。

国产厂商卡位沉积类、刻蚀、扩散等设备领域，3月中标设备国产比例为55%。中标方面，2023年3月，统计样本中的晶圆产线上合计中标33台设备，以量测、沉积、退火设备居多；国产设备整体中标比例约55%，其中，沉积、PVD、CVD、PECVD、刻蚀、扩散、检测、涂胶显影设备的国产中标比例显著。2023年1-3月，统计样本中的晶圆产线合计中标104台设备，以刻蚀、量测、炉管设备居多；国产设备整体中标比例约52%，其中，沉积、CVD、PECVD、外延、检测、扩散和气液系统设备的国产中标比例较高。

万业企业、广立微、上海微中标设备数量居多，对应工艺环节的中标比例为52%。2023年3月，国内半导体设备厂商合计中标12台设备，供应商以万业企业、广立微、上海微为主。其中，万业企业中标3台沉积设备、1台CVD设备，广立微中标2台量测设备，上海微公司中标2台退火设备。国内半导体设备在对应工艺环节的中标比例为52%。其中，北方华创的扩散设备、拓荆科技的PECVD设备、万业企业的沉积设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为100%、100%、75%。2023年1-3月，国内半导体设备厂商合计中标35台设备，北方华创、万业企业中标量领先。其中，北方华创中标主要包括刻蚀、炉管、扩散和外延设备，分别为10台、1台、1台和1台；万业企业中标主要包括沉积、PVD和CVD设备，分别为5台、1台和2台。2023年1-3月，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为43%。其中，北方华创的外延、扩散设备、拓荆科技的PECVD设备在对应工艺环节的中标比例领先，均为为100%。

投资建议：建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、芯源微、拓荆科技、华海清科、中微公司*、盛美上海*、华峰测控*、长川科技*、微导纳米、至纯科技*、万业企业等标的。（带*标的为与广发机械联合覆盖）

风险提示：市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期。