设备市场天空海阔，国产替代任重道远。半导体设备市场空间广阔。未来，半导体设备公司的增量将更多地来源于市场份额的提升。在市场、国家战略、产业自主可控等多重因素的驱动下，中国大陆晶圆制造及其配套设备环节的加速发展势在必行。中国大陆晶圆产能的持续扩张，有望持续拉动上游配套半导体设备的市场需求。内资晶圆产线产能距离规划仍有较大的提升空间，国产半导体设备的订单增量前景广阔。当前半导体设备国产化率仍处于非线性提升区间，国产替代驱动的份额提升，将为行业贡献可观的成长速度和空间。随着细分品类的市场份额提升，以及产品品类的多元扩张，未来，国产半导体设备公司的成长边界有望不断拓宽。

2022年招标量规模显著，以积塔、华虹、燕东招标为主。2022年，统计样本中的晶圆产线合计招标1060项，其中，积塔、华虹、燕东的设备招标量位居前三。整体而言，招标以量测设备、沉积类设备和刻蚀设备为主。其中，2022年，积塔合计招标502项，以量测、沉积类、刻蚀设备居多；华虹合计招标263项，以量测、检测、热处理设备居多；中芯合计招标148项基建项目；长鑫合计招标12项基建项目。

国产厂商卡位探针台、量测、炉管等领域，2022年国产设备中标比例30%。中标方面，2022年，统计样本中的晶圆产线合计中标1040台设备，以量测、沉积类、热处理设备居多；国产设备整体中标比例约30%，其中，硅片再生、气液系统、去胶、湿法腐蚀、PVD设备的国产中标比例较高。

2022年北方华创等公司中标量领先，国产设备在所处工艺领域的中标表现突出。2022年，国内半导体设备厂商合计中标231台设备，北方华创、创微微电子、中微公司、万业企业中标量领先，分别中标64台、28台、22台、21台设备。2022年，国内半导体设备厂商合计中标量在对应工艺环节的中标比例为26%。其中，盛美上海的硅片再生设备、北方华创的PVD设备和氧化设备、创微微电子的湿法腐蚀设备在对应工艺环节的中标比例领先，分别为67%、50%、50%、47%。

投资建议：建议关注在半导体核心工艺环节强势卡位和今年有新品类拓展的公司：北方华创、华海清科、拓荆科技、长川科技、中微公司、盛美上海、芯源微、万业企业、至纯科技、华峰测控等标的。（带标的为与广发机械联合覆盖）

风险提示。市场需求不及预期，研发不及预期，市场开拓不及预期，样本统计可能不完整。

文章：广发证券