产品用于上海光源同步辐射装置

公司始终坚持以质量求生存的质量理念，通过规范质量，从原材料采购、检验到生产过程控制及后续产品质检中，做到批次的记录有序，有力保证了公司的生产。公司拥有开发设计、精密机械加工、表面处理、精密焊接、洁净室清洗与包装等一系列核心技术，是目前国内同行业中少数拥有完整技术体系的厂商之一，在国际同行业中处于先进水平。产品的加工精度、表面粗糙度、极限真空度等技术指标达到国内外先进水平，获得了国内外客户的广泛认可，符合包括SEMI、 ASME BPE、 3-A等一系列国际标准和规范，被应用于包括“上海光源同步辐射装置（SSRF， Shanghai Synchrotron Radiation Facility） ”、 “质谱分析用小腔体真空系统”、 “碳纳米管场发射显示器件物理研究和高效器件研究”等多项重点工程或重大课题研究。截至报告期末，公司及各控股子公司合计拥有已授权的有效专利97项（其中发明专利11项，实用新型专利86项），拥有软件著作权2项。

互动易石锤光刻机

公司一直专注于高纯及超高纯洁净应用材料的研究、制造与销售。公司的半导体真空系统和气体系统可以服务于所有的半导体设备供应商和终端制造商。 光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，我司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中， 公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。