先进封装设备整理:
#划片机(光力科技):先进封装工艺的Chiplet,芯片的体积变小,芯片数量增多。对于半导体划片机来说,首先需要切更多的刀数,划片机的需求量肯定上升的。然后因为芯片变得更小,所以切割精度要求也变得更高
#晶圆测试(长川科技赛腾股份):在封装中,必须要保证这十多个小芯片比必须完好无缺。如果有一个芯片是坏的,整个大芯片都要一起报废。所以在先进封装里面对于测试的要求提高
#凸块工艺。(芯源微、劲拓股份)。凸块工艺就是在晶圆上种植锡球,替代传统的引线键合工艺。凸块的一个工艺流程是涂胶显影曝光,利好芯源微。如果是铜凸块就用电镀的设备,让铜柱子长出来;如果锡凸块就是在用晶圆植球设备把锡球植到晶圆上面,然后再用回流焊设备把锡球融化、再冷却。劲拓股份本来是PCB回流焊现在拓展晶圆级回流焊设备。
#固晶机。(新益昌)。因为芯片数量变多,并且变得更小,工艺对固晶需求量增加,同时精度需求提高,也带来了价值量的提高。
#减薄。(安集科技)减薄环节。传统的半导体封装的流程中,第一道背面减薄,用的是化学机械抛光设备,在先进封装中,比如3D封装,需要把芯片叠好几层,为了让体积更加精致,需要把晶圆磨得更薄。因此减薄设备的需求量会增加。减薄设备标的?研磨抛光液需求也增加,安集科技。
#硅通孔工艺(北方华创中微拓荆)硅通孔的工艺首先是用蚀刻设备在晶圆上面去做凹槽,做完凹槽之后用薄膜沉积设备在上面做上绝缘层阻挡层。然后还有种子层,再往后面就是用电镀设备把铜的柱子给电镀出来。再往下面就是需要用背面减薄设备,是把凹槽下面那部分不导通的部分剪薄掉,这样就会形成一个贯穿孔。硅通孔工艺流程涉及到的设备大部分是前道设备,包括刻蚀设备、薄膜沉积设备、化学机械抛光设备。但是对这几个千亿公司绝对收入提升都不明显。
🌟#光刻,曝光设备(芯碁微装,张江高科)。上海微电子是非直写光刻,芯碁微装是直写光刻。
🌟#塑封设备。(文一科技)在先进封装工艺中,结构更加复杂,塑封难度增加。如果要保持原来的效率,塑封机的需求必须增加。
🌟#其他材料标的:飞凯材料(键合材料的)兴森科技(载板)强力新材PSPI和bumping电镀液)。