行业观点:光刻机是半导体设备中最昂贵、最关键、国产化率最低的环节,全球光刻机市场被荷兰ASML、日本佳能、尼康三大巨头垄断。光学系统是光刻机的核心,光刻机制程越小,对光学系统的精度要求越高,目前仅有少数公司(德国蔡司、日本佳能、尼康)具备光刻机超精密光学系统供应能力。
伴随荷兰、日本、美国加大半导体设备出口限制,光刻机、光刻机光学零部件国产替代意义重大。我们估算中国光刻机光学部件市场达5亿美元,尽管目前蔡司在收入规模、研发投入、技术水平遥遥领先,但是中国光刻机设备崛起一定需要中国的“蔡司”。
光刻机光学.pdf
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