清华大学涂颂华关于光刻机、EUV、同步辐射的理解（转载）

那么这个项目就是传了很多，自媒体做了很多，然后我又看到有不同的人出来反驳说这是胡说八道，这根本就不是那么回事儿。首先这是一个纯理论，一个是说就是说这不是一个所谓EUV光刻机的有关项目，而是一个基础科研项目，也有人把它说成是一个就是说不沾边的，就是说甚至这个项目本身还是所谓的子虚乌有等等，就是说对于这个项目有没有第二个这个项目的它的靠谱的程度，以及它跟EUV、光刻机之间的关联性，它是什么样的？

众说纷纭。那么现在我做了一点功课以后，我现在有非常确实的信息和证据，我想把这个东西来澄清一下，我也心里会把信息在里头提到大家在网上自己都能搜看到原文的地方。我现在找到了一个非常有可信度的是一个2021年的视频，这个视频是2021年的9月份的时候，在中国当时还是疫情期间开了一次关于杨振宁学术会议的一个研讨会。

那么其中有一个演讲人就讲到了，这个叫什么SSMB-EUV光源的技术的问题，做20分钟报告的人叫赵午，赵是赵钱孙李的赵，午是中午的午，很好记，你在哔哩哔哩里头用关键词去找赵午、 EUV，你就能够找到20分钟的视频。

这个人是斯坦福大学的物理方面的教授，搞的就是高能物理。那么他的导师他在40多年以前的导师就是杨振宁，当时杨振宁还没有回到中国，他是在美国这个大学里头教物理学的时候，在赵午选择自己的专业方向的时候，就给他提出来这么一个专业方向。那么赵武在这个领域里头搞了四五十年的工作，那么他在2010年的时候就写了有关于用高能粒子来产生euv光的基础性的论文，这个论文是他和他的博士生合作写的，2010年就发表了。

然后到了2017年的时候就是15 16年，川普开始上台开始搞事的时候，杨振宁就打到了清华大学的这个工程物理学的教授，然后说服他跟告诉他项目有这么一个理论东西，认为这个东西对中国会有非常大的实用性的价值，就是解决中国EUV光刻机的光源。

然后清华的教授唐传祥，他在17年的时候开始了做这个项目理论的实用性研究，然后18年的时候他因为去做实验的时候需要专用的这个设备，这个设备德国有一个大学有，那么它就跟德国大学搞了一个合作研究，那么18年搞的19年就出了第一部的实验的结果，这个实验的结果验证了这个是可行的。

然后19年以后又继续做第二期的研究，因为疫情又稍微推迟了一点进度，那么到21年的时候发表了第二期期的更加深入更加大规模的实验的结果，验证了可行性。22年开始这个项目进入实质性的国家项目的审批，那么应该是走发改委还是国务院等等7788的这个方向，然后22年就批下来，23年的年初就在雄安开始动工了，它前因后果是这样的。

那么这个项目按照赵午2021年在杨振宁的学术思想报告会议上面20分钟演讲内容，他很明确的讲到了这个项目。第一它是以实用性解决EUV光刻机光源为目标的13.5纳米的稳定输出的光源为目标的。然后他主要希望能够达成的一个目标就是产生稳定的高强度的、EUV的光线，它的输出的功率要超过1000瓦。

那么而实际上现在的阿斯麦尔的光刻机，它用的是输出的这个第一产能输出的光源输出的功率只有250瓦，这是一个区别。

第二个因为它要在非常小的空间里头实现的话，它要用11次的反射镜，每一次要损失30%，最后11次反射以后只有所以就是阿斯马尔光刻机250瓦的光源输出功率，最后在刻上去的时候它离理论的最高值只有6瓦，而如果是用这个高能物理的方式的形成的 EUV光线，第一个它是非常的这个能量密度非常的高。

第二个他只要三次反射就可以了，它的反射镜片组会大，大的简化，然后使得他最后输出的光的强度等等好很多，然后它的光的频率也能够限制在一个非常窄的范围内，它的光的纯度也非常的好，造价的话能够降低十几倍。

所以明确的就是说有了在你在哔哩哔哩上能够找到的视频看了以后，你应该很清楚，就是说第一这个项目的的确确是存在的，它是一个靠谱的项目。

第二个这个项目的研发，它不是一个纯的理论研究，它有带有非常强的工业实用性的目的，就是为了解决13.5纳米EUV光刻机所需要的光源，所以网上所说的一个说这个项目子虚乌有的，说这个项目是纯理论性，没有实用价值，跟EUV不相干的，这些都是完全错误的，事实的结果就非常的清楚，就是有这个项目，靠谱的项目，他背书的人是杨振宁，对吧。

而且实验已经做了两次，然后这个项目就是为了解决EUV的光刻机光源，而且它一旦实现以后，就使得中国的光刻机在系统在理论层面，在整个系统设计方面远远的优于阿斯麦尔，就会使得阿斯麦尔的光刻机整个就过时了。

那么就是说中国如果几年以后研制出这样的光源，那么后面因为后面的反射镜组等等，中国本来就有，然后他的研制难度也低得多。

然后后面的一个非常重要的元器件就是双攻坚工作台中国已经有了，EUV上已经用了，对吧？那么这些东西再组合起来，光刻胶的问题也比较容易解决，为什么？因为光的强度高很多，那么你曝光所需要的光强了以后，你的胶卷的研发难度也大，大降低。如果这个很弱的光你要让它曝光，这不是很困难吗？所以这些东西光源的突破就意味着中国在euv光刻机的研制上面走了一条完全不同的路径。颠覆性的一旦成功了以后，就是会对于现在西方所拥有的光刻的芯片制造的设计等等整个系统产生一个毁灭性打击。

当然这个东西还需要相当的时间，要几年的时间我们才能够知道它进展怎么样。第二个它能不能在实践的角度来说，真正能够把它做出来科学的东西，技术的东西没做出来之前也不敢说打包票对吧？这个是清楚，但是就是说这个项目的确有，而且为了解决EUV而且是靠谱的人在做，这个是没有问题的。那么中国现在把这个东西也一定的曝光什么，我觉得第一个这项目太大了，而且本来你这个东西就跟德国人研究做的对吧？

你又不存在保密的问题，全世界的搞高能物理的人，搞EUV的人都是知道的。现在讲出来，其实某种程度上也是给阿斯麦尔给美国人施压，尤其是阿斯麦尔对吧？你这几年卖给我们你还能挣钱，那么如果我们已经获得了比较所有的我们需要的东西，这个项目的进度不间断感，所以就是把这个东西揭露出来，让全世界的人知道有这么一个项目，我相信就是阿斯麦尔的CEO在接受外国财经媒体采访的时候讲，说中国有14亿人，有很多聪明的人，他们现在在光科技研发方面用了一些我们没有想到的技术方案等等所以不能够跟中国脱钩，我们还要继续卖光刻机等等这个是

阿斯麦尔光刻机最近在电视上所讲的话，跟他在一年两年以前三年以前的对中国人的这种不屑和傲慢的话形成一个非常鲜明的对比，对吧？所以就是说我就把这个情况把这个信息给分享一下，大家可以在哔哩哔哩上去找到这段视频，20分钟看一下就知道了这东西千真万确的。Ok，今天2023年的9月17号。