一、主营业务

公司是一家泛半导体领域设备精密洗净服务提供商，聚焦于半导体和显示面 板两大领域，专注于为半导体及显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净服务， 为客户生产设备污染控制提供一体化的洗净再生解决方案，并逐步成为国内泛半 导体领域设备洗净技术及洗净范围（洗净标的物品类）领先的服务企业之一。

公司主营业务是泛半导体领域设备洗净及衍生增值服务，具体包括：半导体 设备洗净服务、显示面板设备清洗服务（TFT 设备洗净、OLED 设备洗净、陶瓷 熔射再生和阳极氧化再生服务），及半导体设备维修服务等三大类。

泛半导体产品制造过程中，需要用到蒸镀、薄膜、蚀刻和光刻等工艺过程。 这些工艺使生产设备会沉积覆着物或被刻蚀，为确保生产功效，阶段性对设备进 行精密洗净或再生处理，是泛半导体产品制造过程中必不可少的需求。

公司服务的行业主要包括泛半导体产业等需要对生产工艺流程进行制程污 染控制的先进制造业。有效的污染控制是保证和提高这些行业产品良率的必要条 件，是这些行业生产工艺整体流程的不可分割的组成部分。随着国内外泛半导体 产业的高速发展，特别是国内产能的逐步提升，对生产设备的精密洗净也迎来了 较大的国内市场需求。

公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过自主研发的微污染检测控制技 术、化学复配缓蚀技术、高精度遮蔽加工技术等核心技术，对泛半导体产品生产 过程中需要进行污染控制的设备进行再生式精密洗净，为客户生产设备污染控制 提供洗净整体解决方案。该领域产业技术涉及物理、半导体物理、物理化学、电 化学等多种基础科学和化工、机械、材料、表面处理等多种工程学科，属于多学 科交叉行业。

凭借先进的技术和丰富的泛半导体设备精密洗净服务经验，公司已发展成为 中国大陆地区少数具有国际竞争力的泛半导体设备精密洗净服务提供商，服务得到众多国内外主流泛半导体厂商的认可，并取得良好的市场口碑。

公司业务起步于上海申和表面处理事业部，后者自 2000 年开始从事精密洗 净业务，公司生产基地已从上海拓展到天津、大连、内江、铜陵、广州等地，区 域范围已基本覆盖中国华北、东北、西南、华东、华南等泛半导体制造发达区域。 长期以来，公司与下游晶圆代工企业、显示面板制造企业建立了稳定且广泛的合 作关系，公司主要客户情况如下：

公司已研发并量产 10.5 代 LCD 制程洗净工艺、6 代 OLED 制程洗净工艺及 半导体 14nm 制程洗净工艺，具有较为先进的陶瓷熔射工艺，储备的半导体 7nm 部品清洗工艺已较为成熟，公司在 LCD 高世代和 OLED 这些 TFT 前沿领域已具 备满足客户全方位洗净需求的能力。截至招股说明书签署日，公司及子公司拥有 已获授予专利权 167 项，其中发明专利共计 18 项。

（二）主要服务

公司是国内专业的半导体设备和显示面板设备精密洗净服务公司。经过多年 的业务实践与创新发展，半导体和面板设备洗净服务不断向高制程和高世代设备 清洗发展，同时也逐渐拓展了陶瓷熔射、半导体设备维修、氧化加工业务等精密 洗净衍生增值业务，具体如下：

1、精密洗净服务

（1）半导体设备洗净服务

生产过程中，半导体设备部分零部件表面会沉积覆着物或被刻蚀副产物污染，有效的污染控制是保证和提高集成电路产品良率的必要条件，为确保生产功效，定期对上述生产设备进行洗净，是芯片制造过程中必不可少的环节。

发行人半导体设备洗净服务是指为半导体企业设备提供定期清洗再生服务， 包含 TF（薄膜）部门的 PVD（物理气相沉积）和 CVD（化学气相沉积）薄膜 沉积设备，Diffusion（扩散）部门的扩散设备，光刻部门的设备，ETCH（刻蚀） 部门的设备等集成电路制造企业核心设备的洗净再生服务。

                  集成电路制造工艺及公司洗净服务（绿色框内）所涉及的环节如下：

公司将客户机台预防性保养8时更换下的零部件采用自主研发的工艺方法， 去除零部件表面覆着物，并采用特定的表面处理方式，使洗净后的零部件达到规 定的尺寸、平面度、表面粗糙度、表面颗粒污染物等技术指标要求。

公司的洗净技术与客户制程的进步相辅相成，能够参与到客户的研发及制程 的升级换代中，通过提供专业的洗净服务，协助客户制程不断提高情况下，生产 设备洗净能够直接或者尽可能快速的国产化，降低客户的洗净服务成本。公司半 导体设备清洗服务覆盖了大部分中国大陆地区在运营的 6 英寸、8 英寸、12 英 寸的晶圆代工产线，与中芯国际、华力集成、华力微电子等国内行业巨头建立了 长期稳定的合作关系。

除了半导体生产厂商，公司还与世界主要半导体设备厂商（泛林集团、应用材料、东京电子）开展了合作。除了个别的光刻机设备之外，发行人对其他相关 的半导体设备零部件均研发并形成了成熟的清洗工艺，并随着半导体生产制程的 提升，不断提供相应的洗净服务。

（2）TFT 设备洗净服务

与半导体产品生产类似，TFT 面板生产过程中，其生产设备零部件表面也会 被污染，定期对主要生产设备进行洗净也是 TFT 面板制造的必备环节。

发行人 TFT 设备洗净服务是为液晶面板制造企业设备提供定期洗净服务， 包含 CF（彩色滤色器）部门（Color Filter）的 ITO Sputter 薄膜沉积设备，Array 部门的 PVD Sputter 薄膜沉积设备、CVD 薄膜沉积设备，干刻（Dry Etch）部 门的干刻刻蚀设备等液晶面板制造企业核心设备的洗净服务。

发行人 TFT 设备洗净服务覆盖了 G4.5/G5/G5.5/G6/G8.5/G8.6/G10.5 代次 的全阶段沉积和刻蚀等设备，涉及设备腔体挡板、玻璃运载装置、Mask 等约 1,500 款零部件产品的清洗服务。

（3）OLED 设备洗净服务

发行人 OLED 洗净服务是为 OLED 面板制造企业的易污染主要设备提供定 期洗净服务，主要包含蒸镀部门的蒸镀机设备、IMP 部门的离子注入设备等核心 设备。

发行人OLED设备洗净服务覆盖了硅基微显示蒸镀设备及G4.5/G5.5/G6 代 次的蒸镀及离子注入设备，涉及设备腔体挡板、点源坩埚、线源坩埚、Open mask 等约 900 款零部件产品。

2、精密洗净衍生增值服务

（1）氧化加工服务

氧化加工服务是为半导体和显示面板行业的干刻刻蚀设备零部件提供表面 阳极氧化加工处理，以抵抗刻蚀过程中机台刻蚀气体的腐蚀，保护腔体核心部件， 减少刻蚀副产物的污染。

公司采用自主研发的工艺方法，将客户机台预防性保养时更换下的零部件的 表面覆着物进行去除，并采用阳极氧化方法，使零部件达到规定的尺寸、平面度、表面粗糙度、耐腐蚀性、表面颗粒污染物等技术指标要求。此外，公司还根据客 户需求，提供定制的氧化加工服务。

公司氧化加工服务覆盖了显示面板 G4.5/G5.5/G6/G8.5/G10.5 代次的干刻 设备以及半导体部分干刻设备，涉及设备的腔体挡板、上部电极、下部电极等约 1,200 款零部件。

（2）陶瓷熔射服务

在半导体和显示面板制造过程中，强烈的等离子冲蚀和化学腐蚀会造成制造 设备的性能降低，同时造成设备的频繁维护和产品良率的降低。高纯耐腐蚀陶瓷 涂层作为保护层在刻蚀设备中具有广泛的应用，特别是半导体、TFT 行业制程不 断提高的过程中，对耐腐蚀涂层的要求越来越高，应用范围也越来越大。

公司陶瓷熔射服务产品包括：半导体刻蚀腔体内衬、钟罩、静电吸盘、气体 分配盘等关键零部件，TFT 刻蚀腔体中的陶瓷板、内壁板、上部电极、下部电极 等重要零部件，在 PVD、CVD 的腔体中，也有少量的应用。

陶瓷熔射主要的涂层材料有氧化铝、氧化钇、钇稳定的氧化锆、氟化钇、氟 氧化钇等组分，同时存在不同的分体粒径和形貌。喷涂工艺参数主要包含：送粉 方式、送粉速率、喷枪电流、喷枪功率、喷涂距离、喷涂气体流量、喷涂环境压 力等。陶瓷熔射的涂层性能包括涂层厚度、硬度、结合强度、孔隙率、耐磨性、 电化学性能、抗腐蚀性、表面离子污染和杂质污染等物理化学性质和使用性能。 公司通过对不同的涂层材料进行针对性的工艺设计，不断优化涂层性能，满足半 导体、TFT 行业的需求。

（3）半导体设备维修服务

发行人报告期内所提供的半导体设备维修服务（即 HS 翻新服务），主要是 为 CMP 设备研磨头进行清洗、配件更换维修再生服务。

CMP 设备是半导体行业化学机械抛光装置的缩写，其研磨头主要起到固定 晶圆硅片的作用，抛光时，晶圆硅片吸附在研磨头下方，旋转的研磨头以一定的 压力在旋转的抛光垫上，由亚微米或纳米磨料和化学溶液组成的研磨液在硅片表 面和抛光垫之间研磨抛光。随着 CMP 研磨头耗材使用寿命的增加，CMP 的研磨速率、研磨均匀度等参数都会发生变化，故需定时对研磨头的耗材进行更换维 修及清洗。

此外，发行人将客户机台预防性保养时更换下的零部件进行拆解，对通过洗 净或其他衍生服务已无法达到继续使用程度的部分易损零部件进行更换，并进行 精密洗净处理，使零部件达到所需的技术指标要求。

CMP 设备市场高度集中，应用材料和日本荏原合计拥有全球 CMP 设备超 过 90%的市场份额，2020 年全球市场占有率分别为 64%和 29.1%，我国绝大部 分的高端 CMP 设备也主要由应用材料和日本荏原提供。应用材料是半导体设备 行业龙头企业，为客户提供半导体芯片制造所需的各种主要设备、软件和解决方 案，2021 财年实现营业收入 230.63 亿美元，1972 年在纳斯达克上市，股票代 码 AMAT，市值超过 1,200 亿美元。日本荏原是一家超过百年历史的泵设备和 CMP 设备制造商，为东京证券交易所上市公司。

国内 CMP 市场，目前在高端市场部分，绝大部分仍然依赖于进口，在 14nm 以下最先进制程工艺的大生产线上所应用的 CMP 设备仅由应用材料和日本荏原 两家国际巨头提供。应用材料与日本荏原分别已实现 5nm 制程和部分材质 5nm 制程的工艺应用；但是在成熟制程领域，以华海清科股份有限公司（科创板已上 市）为代表的国内企业已经打破了国外巨头常年垄断的局面，并且已经在国内 CMP 市场占据了重要份额

HS 翻新服务系应用材料 CMP 研磨头换新服务的 Total Kit Management™ （全面套件管理解决方案），综合提供清洁、部件更换、再组装和测试等服务。 截至目前，全球范围内仅应用材料规模化的采用 HS 翻新服务对 CMP 研磨头进 行换新服务，日本荏原及华海清科股份有限公司等厂商由于设备精度及工艺路线 差异，对 CMP 关键耗材的磨损较小，暂未开展规模化 CMP 研磨头翻新服务。

（三）主营业务收入的构成情况

报告期内，公司主营业务收入按业务领域构成情况如下：

报告期内，公司主营业务收入主要来自半导体及显示面板领域设备洗净服务， 主营业务收入构成较为稳定，但各类服务收入亦存在一定程度的波动：其一，半 导体设备洗净服务业务收入逐年上升、占主营业务收入比重基本稳定，2021 年 收入占比上升较多，主要系国内半导体厂商开工率充足，清洗服务量上升；其二， 显示面板设备清洗服务收入金额有所波动，且收入占比逐年下降，主要系受价格 下降影响所致，但阳极氧化和陶瓷熔射增值服务收入及金额占比均逐年上升；其 三，HS 翻新服务系向应用材料提供的半导体设备翻新服务，2018 年业务开展 以来，公司设备翻新服务品质逐步得到应用材料认可，前期采用来料加工模式， 2019 年 4 月后改为进料加工，且其下单金额逐年大幅增长、收入占比亦呈逐年 上升趋势。

二、发行人所处行业的基本情况及其竞争状况

（一）发行人所处的行业及确定所属行业的依据

公司是一家泛半导体（半导体、显示面板等）领域设备精密洗净服务提供商， 主要聚焦于半导体和显示面板两大领域，专注于为半导体及显示面板生产厂商提 供一站式设备精密洗净服务。根据中国证监会颁布并实施的《上市公司行业分类 指引（2012 年修订）》，公司所处行业为“科学研究和技术服务业（M）”中的“专 业技术服务业（M74）”；根据国家统计局 2017 年发布的《国民经济行业分类》 （GB/T4754-2017），公司所属行业为“科学研究和技术服务业（M）”中“专业技 术服务业（M74）”的“其他未列明专业技术服务业（M7499）”。

三、竞争对手

1、发行人产品或服务的市场地位

国内精密洗净服务行业起步较晚，发行人是国内最早从事精密洗净服务的企 业之一，亦系国内最早实现半导体 PVD 洗净工艺量产服务的企业之一。历经二 十年持续的研发投入和长期的技术、工艺积累，发行人已在业务实践与拓展中积 累了丰富的行业经验和优质客户资源，在洗净工艺改进、新服务产品开发等方面 形成了一系列的科技成果，并逐步确立了国内半导体和显示面板设备精密洗净服 务领域的领先优势地位。

在半导体装备领域，发行人服务范围广泛，涵盖 PVD（物理气相沉积）、 CVD（化学气相沉积）薄膜沉积设备、扩散设备、光刻设备、刻蚀设备等集成 电路制造企业核心设备的精密洗净服务；除了晶圆制造企业，发行人还与世界三 大半导体设备厂商（泛林集团、应用材料、东京电子）开展合作，建立了长期的 战略合作。除光刻机设备，发行人对其他各类半导体生产设备均形成了成熟的清 洗工艺。

在显示面板设备洗净领域，发行人 TFT 设备洗净服务覆盖了从 G4.5 到 G10.5 代次的全阶段沉积和刻蚀设备，涉及设备腔体挡板、玻璃运载装置、Mask 等约 1,500 款零部件产品的清洗服务；发行人 OLED 设备洗净服务覆盖了硅基微显示蒸镀设备及 G4.5/G5.5/G6 代次的蒸镀及离子注入设备，涉及设备腔体挡 板、点源坩埚、线源坩埚等约 900 款零部件产品清洗服务。发行人同时为显示 面板制造客户提供阳极氧化、陶瓷熔射、OPEN MASK 清洗等较为全面的洗净 再生解决方案。

凭借先进的技术、丰富的产品线和稳定的服务质量，发行人得到国内主流晶 圆代工和显示面板制造企业的普遍认可，取得良好的市场口碑。发行人是目前中 国大陆洗净技术先进、服务范围（洗净标的物品类）广泛的半导体和面板设备洗 净服务企业之一。

2、行业内主要企业

目前，公司所处泛半导体设备洗净服务行业主要企业情况如下：

1）国际市场

①Quantum Clean

Quantum Clean 成立于 2000 年，为全球泛半导体制程组件洗净、再生及分 析检测行业领先者，在全球 8 个国家设立了 17 个洗净服务基地。2018 年，被 UCT（超科林半导体）收购。Quantum Clean 在中国大陆尚未自行开展设备洗 净服务业务，暂通过代理或者原厂提供洗净服务。

②KoMiCo

KoMiCo 为韩国最大的精密洗净服务公司，在半导体陶瓷熔射、半导体阳极 氧化方面，处于技术领先地位，可配套量产 12nm 制程精密洗净服务，国内主要 以高美可科技（无锡）有限公司为服务实施主体，主要配套海力士。

③Pentagon Technologies

Pentagon Technologies 为半导体、制药、微电子和太阳能行业提供关键制 造支持服务、微污染检测和维护的领先供应商。Pentagon Technologies 在中国 大陆尚未开展设备洗净服务业务。

2）国内市场

世禾科技股份有限公司（以下简称“世禾科技”）：系中国台湾地区上柜公司 （股票代码 3551），中国台湾地区泛半导体洗净领域最大的服务提供商，目前 在大陆工厂主要有世巨科技（合肥）有限公司、成都市世正科技有限公司、东莞 市世平光电科技有限公司。世禾科技技术较为先进，半导体已量产 7nm 半导体 制程，TFT 洗净技术在国内也处于前列。目前，世禾科技系除发行人外，在中国 大陆地区布局工厂最多的泛半导体部件洗净服务提供商，尤其是其在深圳及其周 边的华南地区优势较为明显。

湖州科秉电子科技有限公司（以下简称“科秉电子”）：母公司是台湾科智 （TEAM WORLD INTERNATIONAL CO.,LTD），在中国台湾地区洗净领域排名 第二，在中国大陆建厂已超过 10 年（2003 年设立上海科秉电子科技有限公司）， 在湖州建成 1 万平米先进制程洗净工厂，具有较强的蚀刻技术水平，在技术、管 理方面都有较强竞争力。科秉电子在半导体领域已量产 7nm 半导体制程，与国 内主要半导体制造商有良好的关系，系目前国内半导体洗净业务主要服务商之一。 科秉电子在中芯国际的市场占有率较高，但在其它半导体公司占有率相对较低， 其主要竞争优势在于蚀刻技术较强，但其工厂布局较少。

高美可科技（无锡）有限公司（以下简称“高美可”），原美科电子（无锡） 有限公司，是韩国最大的洗净公司 KOMICO 在国内布局的洗净公司，除高美可 外，KOMICO 在合肥（合肥高美可科技有限公司，2018 年设立）亦设有工厂。 高美可技术较为先进，特别在半导体陶瓷熔射、半导体阳极氧化方面，处于技术 领先地位，其可量产洗净 12nm 制程产品。高美可目前系无锡海力士最大的洗净 供应商，销售主要面对韩国的半导体厂商。

南京弘洁半导体科技有限公司（以下简称“南京弘洁”）：系台积电合格供应 商，蚀刻洗净技术较强，其国内目前仅一家工厂，且设立时间较晚（2016 年 11 月）。

上海应友光电科技有限公司（以下简称“应友光电”）：TFT 部件清洗综合 服务商，成立时间近十年，另在安徽（安徽应友光电科技有限公司，2014 年） 和绵阳（绵阳应友光电科技有限公司，2020 年）设有工厂。应友光电无半导体洗净业务，以 TFT 业务为主。

华菱科技（苏州）有限公司（以下简称“华菱科技”）：日资公司，主要专攻 半导体蚀刻技术，蚀刻技术较为领先。主要与东京电子合作，系其国内主要合作 伙伴之一，清洗东京电子在国内供货设备具有技术优势。华菱科技国内仅一家工 厂，覆盖面相对较窄。

安徽高芯众科半导体有限公司：2015 年成立的洗净服务公司，目前市场拓 展势头较为强劲，业务主要在 TFT 领域，目前主要以配套合肥京东方为主，另 2019 年在湖南浏阳设立湖南高芯众科半导体有限公司。目前，其正在积极推进 半导体业务，成立时间较短，生产规模逐步扩大。

四、发行人报告期的主要财务数据及财务指标

                                     2022年3季度                                                                     2021

营业总收入(元)                  4.63亿                                                                           5.69亿

净利润(元)                       6311.83万                                                                       8784.62万

扣非净利润(元)                5310.27万                                                                       7991.74万

发行股数 不超过84,600,000股

发行后总股本 不超过338,390,000股

行业市盈率:31.05倍(2022.12.11数据)

同行业可比公司静态市盈率估值(不扣非):49.46(至纯科技)、177.05(江丰电子)、65.19(中微公司)、126.93(盛美上海)去除极值104.66

同行业可比公司动态市盈率估值(不扣非):64.26(至纯科技)、63.42(江丰电子)、62.37(中微公司)、57.50(盛美上海)去除极值61.89

公司EPS静态不扣非:0.2596

公司EPS静态扣非:0.2362

公司EPS动态不扣非:0.2487

公司EPS动态扣非:0.2092

拟募集资金41,397.17万元,募集资金需要发行价4.89元,实际募集资金:7.17亿元.

募集资金用途: 1陶瓷熔射及研发中心项目2陶瓷热喷涂产品维修项目3研发及分析检测中心扩建项目4补充流动资金

12月发行新股数量17支。11月发行新股数量支。

电子 -- 半导体 -- 半导体设备

所属地域：安徽省

主营业务：泛半导体领域设备洗净及衍生增值服务。    

产品名称：半导体设备洗净服务 、TFT设备洗净 、OLED设备洗净 、陶瓷熔射再生 、氧化加工再生 、半导体设备维修服务    

控股股东：上海申和热磁电子有限公司 (持有安徽富乐德科技发展股份有限公司股份比例：67.62%）

实际控制人：-

上市首日股价20%元,44%元,流通市值:(创业板)

行业市盈率预估发行价:7.33元，可比公司预估市盈率发行价静态:24.72元，可比公司预估市盈率发行价动态:14.62元。

实际发行价:8.48元,发行流通市值:7.17亿,发行总市值:28.70亿.

价格区间15.39元,最高14.30元,最低15.98元.是否有炒作价值:无

上市首日市盈率:34.10倍.行业市盈率是否高估:是  可比公司市盈率是否高估:否

同行业可比公司动态市盈率估值(不扣非):64.26(至纯科技)、63.42(江丰电子)、62.37(中微公司)、57.50(盛美上海)去除极值61.89

上市首日开盘价,溢价率%,流通市值,开盘价估值

是否建议申购:股价很低，半导体产业的细分理论机构必配，所以，这签破发的概率几乎不存在。

你是否有战略配售:根据最终确定的价格，本次发行最终战略配售数量为 1,061.3205 万股，约占本次发行数量的 12.55%

股是否有保荐公司跟投:无

预计年报业绩：净利润8800万元至9000万元，增长幅度为0.18%至2.45% 全年EPS0.2660年报pe31.88

（1）半导体行业概况1）全球半导体产业发展概况2）中国半导体行业发展概况3）未来全球半导体产业预计将继续向中国大陆转移4）我国半导体国产化需求紧迫

（2）显示面板行业概况1）全球显示面板产业发展概况①全球 LCD 产能向中国大陆转移趋势强烈 2）中国大陆显示面板产业发展概况

2、泛半导体设备洗净服务行业概况（1）精密洗净服务行业概述2）显示面板专用设备洗净服务对象（2）沾污杂质介绍（3）主要洗净方法（4）泛半导体设备洗净服务行业特点（5）泛半导体设备洗净服务行业发展情况

上市首日开盘价,溢价率%,流通市值,开盘价估值

关键字:

精密洗净服务:半导体设备清洗、TFT 设备清洗、OLED 设备清洗。

精密洗净衍生增值服务:氧化加工再生、陶瓷熔射再生、半导体设备维修（HS 翻新服务）。

1、精密洗净服务（1）半导体设备洗净服务（2）TFT 设备洗净服务 （3）OLED 设备洗净服务 

2、精密洗净衍生增值服务（1）氧化加工服务（2）陶瓷熔射服务（3）半导体设备维修服务

发行公告可比公司:富乐德、至纯科技、江丰电子、中微公司、盛美上海、3551.TWO 世禾。

（1）泛半导体洗净服务主要企业:富乐德、Quantum Clean、KoMiCo、Pentagon Technologies、世禾科技股份有限公司、湖州科秉电子科技有限公司、高美可科技（无锡）有限公司、南京弘洁半导体科技有限公司、上海应友光电科技有限公司、华菱科技（苏州）有限公司、安徽高芯众科半导体有限公司。

如果对您有所帮助,感谢点赞+关注,欢迎转发分享给更多有需要的朋友！

风险揭示:股市有风险,投资需谨慎.请您务必对此有清醒的认识,认真考虑是否进行证券交易.投资建议内容仅供参考,不构成直接买卖建议,投资者须对其投资行为进行独立判断。