出城
2023-09-15 23:04:36
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@古景升：
EUV（Extreme Ultraviolet）光刻机是制造芯片的关键设备之一，它的光源技术一直是制约其商业化应用的重要因素，成为中国EUV光刻机发展的瓶颈问题。
EUV光源技术具有极苛刻的要求，需要使用波长仅为13.5纳米的极紫外光源，极紫外光源需要高功率激光与某种材料相互作用，需要解决材料的选择
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