短期来看，本土半导体设备企业已经进入业绩兑现期。中长期来看，晶圆产能东移&国产替代逻辑长期存在，驱动本土半导体设备市场需求稳定增长，行业需求景气度有望长期延续。中长期来看，本土半导体设备企业的业绩驱动力更多来自市场份额提升，有望表现出高于行业整体的业绩弹性。下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022年本土半导体设备龙头业绩有望延续高速增长。重点推荐拓荆科技-U、华海清科、长川科技、芯源微、至纯科技、北方华创、中微公司、华峰测控、盛美上海。建议关注万业企业、精测电子。

相关个股：

长川科技：公司主要从事集成电路专用测试设备的研发、生产和销售,是一家致力于提升我国集成电路专用测试技术水平、积极推动集成电路装备业升级的国家高新技术企业和软件企业。公司主要产品包括集成电路测试机、分选机。公司掌握集成电路测试设备的相关核心技术,是国内为数不多的可以自主研发、生产集成电路测试设备的企业。

至纯科技：公司的主营业务为半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。公司的主要产品为高纯工艺集成系统、半导体设备、光传感及光器件。公司于2019年3月完成对波汇科技的收购,波汇科技主要业务为光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。公司多项技术已达到国际先进水平。

北方华创：公司主要从事半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务。主要产品为电子工艺装备和电子元器件。经过多年的发展，北方华创在电子工艺装备及电子元器件领域构建了坚实的技术基础，建立了有竞争力的产品体系，打造了专业的技术和管理团队，形成了较强的核心竞争能力。

万业企业：公司是一家房地产企业,公司主要从事房地产、集成电路核心装备。公司主要产品包括:中远两湾城、海尚明城福地苑、海尚明城紫辰苑、瀚海星座、房产租赁、煤炭销售、物业服务等。

精测电子：公司主营业务为显示、半导体、新能源检测系统的研发、生产与销售。公司主营产品包括模组检测系统、面板检测系统、OLED检测系统、AOI光学检测系统、TouchPanel检测系统和平板显示自动化设备。经过多年的发展，公司中后道制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平，技术优势明显，为公司的快速发展奠定了基础。