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无名小韭98771009
2023-09-07 13:34:27
半导体
@每年58%: 能否介绍一下光照环节的具体技术细节?光照是光刻中的一个环节。这里面涉及一个金属化的过程,也就是离子注入,一般会在硅基底层上布置金属层,然后在金属层上附上光刻胶。利用紫外线或是极紫光穿过掩模版照在光刻胶上。接下来用溶解剂清洗掉残留物,就保留Wafer上的线路。光刻是一个复杂反复的过程,之后还有很多步骤
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