【光大电子|至纯科技】22Q3业绩翻倍增长，22Q4扣非同比增长40-76%，半导体零部件新业务有望进入放量期

公司22Q3营收和扣非净利润均实现翻倍以上增长。2022Q3营业收入为8.06亿元，同比+123%；归母净利润为0.81亿元，同比+116%；扣非归母净利润为0.88亿元，同比+133%，均实现翻倍以上增长。

公司22Q4扣非归母净利润预计同比增长40-76%。公司预期22年全年扣非归母净利润3-3.3亿元，22年前三季度扣非归母净利润1.86亿元，由此推算22Q4扣非归母净利润在1.14-1.44亿元之间，同比增长40-76%，盈利能力表现良好。

公司22前三季度新增订单总额36.21亿，订单量饱和，预计全年将超预期。公司22年前三季度新增订单总额36.21亿元，已经完成全年40亿总目标的90.5%，预计全年45亿+。公司订单增长较快，目前生产处于饱和运行状态。

半导体湿法设备订单持续翻倍，先进制程导入进展顺利。预计22-23年公司湿法设备订单20+/30+亿，连续6年持续翻倍，对应收入分别为12-13/19-20亿。目前公司在28nm节点获得全部工艺的设备订单，在14nm以下获得了 4 台设备订单，拳头产品包括 SPM、晶背清洗等机型在核心关键工序段均得到第一梯队客户的认可，并获得持续订单， 客户包括如中芯国际、华虹集团、北京燕东、TI、华润微、合肥长鑫、福建晋华、台湾力晶等。

国内高纯工艺支持设备的领先供应商，每年交付超过 5000台套。公司高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等支持类设备每年交付超过 5000 台套，不单单做集成服务，核心客户如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等。21年高纯工艺收入10个亿，其中支持类设备占比约30%，未来有望提升到50%以上。

积极布局半导体零部件，有望进入放量期。公司在合肥布局零部件清洗及晶圆再生业务，在海宁工厂布局零部件制造业务，有望进入放量期；大宗气嘉定工厂22年初顺利供气，为首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂。

至纯科技是严重低估的半导体设备股，预计22和23年收入为28-30/40+亿元，半导体清洗设备收入约12-13/19-20亿元，净利润约4+和5+亿元，目前市值130亿元对应22/23年PE为33x和26x，建议积极关注。