据披露,中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。该公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用,公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产,目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。 在发布三季报前两天,公司宣布其MOCVD设备系列迎来又一里程碑:全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。 据悉,本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax?,主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。随着近些年来光电产业的飞速发展,Mini LED已广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。 目前,中微公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产。Prismo UniMax?是MOCVD设备系列新一代产品,该产品系列还包括Prismo D-BLUE?、Prismo A7?、Prismo HiT3?和Prismo PD5?。2013年,中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE?。此后,中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出了Prismo A7?、Prismo HiT3?、Prismo UniMax?和Prismo PD5?产品。