半导体超洁净装备+海外拓展+光刻机 1、公司核心产品包括洁净室空气过滤与洁净墙顶系统，是半导体领域洁净装备（风机过滤单元）和耗材（过滤器）的国产化龙头，国内客户包括中芯国际、华虹宏力等。 2、在国外，已进入马来西亚英特尔等客户体系，北美、匈牙利工厂预计明年下半年投产，海外高端制程扩张将带动公司空气洁净产品放量。 3、公司为上海微电子开发国内首台 28 纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准洁净环境提供 EFU及 ULPA等产品。