会议要点

1. 半导体设备国产替代升级

射频电源是刻蚀和CVD核心设备，国产替代加速，拐点已至。关注英杰电气（电源龙头）、北方华创、中微公司和破军。

供给端经历海外断供，国内设备厂需求国产化电源加速。从'22年四季度至'23年四季度，供给端改善。

需求端由于半导体资本开支上行预期，增加核心零部件采购。预期'23年四季度起半导体射频电源行业国产化率提速，持续1~2年。

2. 射频电源产业化势在必行

半导体射频电源是半导体设备核心零部件，与下游工艺直接相关，不同于直流电源，对设备运行至关重要。

射频电源核心组成包括射频发生器与匹配器，发生器相对标准化而匹配器更定制化，阻抗匹配是核心功能。

半导体射频电源市场潜在价值巨大，与半导体设备价值量一半密切相关，国产化替代有望实现。

3. 射频电源市场容量与趋势

射频电源市场容量估算：依照产品数量和成本占比方法进行计算，射频电源在设备端约占10-15%的成本。

行业趋势分析：受供应链瓶颈、库存消耗周期及预期资本开支加速影响，预计半导体电源市场将进一步增长。

国产替代推动：即便国际政策变化，国产化对射频电源的需求和动力预计不会改变，是市场成长的重要助力。

4. 国产替代途中

全球市场空间：2025年全球半导体射频电源市场预计达到267亿人民币，国内市场约为67亿人民币。核心产品包括射频发生器和匹配器。

国产化率影响：市场空间增长依赖于国内半导体设备的国产化率提升。当前估值基于20%国产化率，未来若提升至50%，市场空间可达34亿人民币。

竞争格局：目前市场为寡头垄断，美国两大企业mks占60%份额，ae接近30%。去年起，国产如英杰电气开始小批量供应。

5. 半导体电源国产化替代浪潮

全球半导体射频电源市场：美国的MKSAE、康戴尔和日本的达汉占据市场领先地位，受政策影响美国、日本企业可能面临不确定性。

德国的霍廷阁之前主要专注于光伏，近年开始进军半导体领域，但可能是过渡性选择。

国内企业动态：英杰电气、云昌和北方微电子（华创子公司）成为国内半导体设备厂商的战略合作伙伴，具备国产替代潜力。

6. 国产半导体设备电源钜变

英杰电气在光伏领域市占率高，未来将产品延伸至电池电源领域，尽管存在市场下滑担忧，公司基本盘预期稳定。

英杰电气与中微公司合作，从直流电源发展至刻蚀机关键电源，已获取数千万元的半导体电源订单，成为半导体设备电源国产化的领军者。

预计自2023年四季度起半导体设备国产替代将加速，英杰电气有望实现业绩增长与估值提升，未来可能在半导体射频电源领域获得大份额市场，具有成长潜力。

会议实录

1. 半导体设备国产替代升级

好的，各位领导，大家晚上好。我是浙商证券机械国防行业首席分析师王华军。今天，在我们浙商机械深度版9点报告中，将为各位分享半导体射频电源的行业分析。与我一同汇报的是我们团队资深分析师李思阳老师。半导体射频电源，作为刻蚀和CVD设备的核心组成部分，我们主要关注的是国产替代趋势。我们认为，国产化替代的拐点已经出现，现处于一个加速过程当中。此次，我们特别看好的企业是英杰电气，它是半导体设备电源领域的龙头企业。

我们还关注包括北方华创、中微公司和破军等在内的公司。拓金科技参股的恒运仓和北方华创的子公司北方微电子，他们也从事相关的电源设备供应。英杰电气作为一个独立第三方，之前有公司如中威公司等也在逐步进入这一领域，主要涉及刻蚀和CVD等薄膜沉积流程。下面，我邀请李思阳老师来详细介绍我们的分析报告，李思阳老师请。

各位领导，大家晚上好。对于今天晚上的这次汇报，我们将重点介绍射频电源在半导体领域中的重要性，以及我们最新的深度分析报告。我们选择在今年四季度发布射频电源的报告，是基于对供需两端的详细分析和验证。我们认为，自22年四季度以来，经过一年时间，由于海外供应中断的影响，供应端的国产替代需求正在加速。同时，从需求端来看，对今年半导体资本支出上行的预期，将进一步推动对上游核心零部件的采购。

总体来看，经过一年的供应中断，海外库存消耗殆尽，需求方可能会更加积极地采购国产产品。基于今年对半导体资本开支上行预期的观察，我们也预期需求方将加速对国产电源的采购。这就是我们在23年四季度年末发布最新半导体射频电源报告的原因。我们预测，从23年四季度开始，至少在未来1~2年内，半导体设备的国产化率将是增长最迅速的环节，且这一趋势在23年四季度已经开始加速。

2. 射频电源产业化势在必行

本篇报告主要分为几个核心部分。首先，我们将介绍什么是半导体射频电源，并分析该行业的市场空间、竞争格局以及发展趋势。其次，我们会介绍相关的投资标的，重点推荐英杰电气作为投资建议。射频电源与传统直流电源完全不同，其在半导体领域中，无论是CVD（化学气相沉积）还是刻蚀工艺，都起着至关重要的作用。它不是为下游客户设备提供24小时稳定电源，而是在如CVD镀膜过程中与工艺直接相关，对于半导体设备来说是核心零部件之一。

简而言之，射频电源与设备架构和工艺的关联性非常紧密，因此它的技术壁垒较高。射频电源主要由射频发生器和匹配器两大部分构成。其中，射频发生器相对标准化，而匹配器则更为定制化，因其需要与客户工艺紧密结合，起到实现阻抗匹配的作用。这其中，匹配器的功能至关重要，需要快速响应腔体内部阻抗的变化。

在工艺过程中，射频电源的主要应用涵盖了四个类别的半导体设备：薄膜设备、CVD设备、刻蚀机和离子植入设备以及清洗设备。半导体射频电源与这些设备的价值量紧密关联，约占下游半导体设备整线价值量的50%。

射频电源的核心壁垒包括功率的精准度、线性和稳定性。在半导体行业，这些参数异常重要，因为微小的偏差可能导致严重的后果。此外，故障维修时间以及维修频率也对设备性能至关重要。同时，由于半导体代工厂空间宝贵，电源的散热性能、体积和重量也成为重要的考虑因素。除此之外，功能性也构成重要壁垒，如多级脉冲功能、变频功能和故障检测通讯方式等。

射频电源市场的需求量可以通过阐述各类腔体配套电源数量来估算。通常，每个腔体需要配置两个电源，一个高频电源和一个低频电源。高频电源主要控制等离子体的浓度，而低频电源则控制等离子体的能量。两者的配合实现调节腔体内部等离子体的状态，以满足客户端特定工艺要求的效果。

总的来说，半导体射频电源发展至关键拐点，国产化替代的趋势已成形。随着技术进步和市场发展，国产供应商将有更大的成长空间和市场机遇。

3. 射频电源市场容量与趋势

从箱体角度来说，我们可以按照电源的二倍维度大致计算出射频电源所需的数量。另一方面，从价值量的角度，基本上也可以用此方法估算射频电源的市场空间。通常，行业内会认为射频电源的成本占下游设备端成本的10%到15%左右。如果将下游设备端的毛利率大约50%扣除掉，剩余的便是其成本。在这个成本中，再按10%到15%的比例计算，可以间接推断出射频电源的价值量和市场需求。因此，无论是从数量还是价值量的成本占比角度，都可以测算射频电源的市场容量，这只是简单介绍射频电源的部分内容。当然，这也反映了行业的趋势。

关于行业趋势，在本次交流会的开始，我们已有简单介绍，包括为何在去年末发布半导体设备电源相关报告的原因。自2022年第四季度以来，尤其是在《芯片法案》通过后，半导体射频电源行业进入了短缺状态。我们认为整个行业受益于三大因素的共同催化：首先，海外供应的瓶颈；其次，库存消耗周期的影响——事实上，在供应中断后，下游设备厂商可能已经囤积了一定量的射频电源库存，但我们认为目前这些库存已基本消耗殆尽，因此需要补充；第三，半导体资本支出今年及明年可能会加速，这三个因素叠加预示着行业加速增长的预期。

此外，从国产替代的角度，我们认为，一旦国产化替代开始，尽管有人可能会质疑，比如美国是否会停止供应射频电源，或对国内国产替代价格是否构成利空，但有句古语说得好：“一朝被蛇咬，十年怕井绳。”即便未来美国的政策改变不再限制供应，我们坚信国产化的动力和诉求不会因政策变动而有所改变。

行业趋势是本次交流会的核心内容之一。在市场空间的测算中，我们主要采用成本占比法。这一方法基于全球及国内半导体设备的销售额，并从中提取出四个核心设备：沉积设备、刻蚀设备、离子注入设备及清洗相关设备的价值量占比。然后将半导体射频电源在设备成本中的价值量占比乘以上述设备的占比，最终得出半导体射频电源市场规模。

4. 国产替代途中

根据我们的测算，全球的半导体射频电源市场空间大概为二百六七十亿人民币，预计到2025年，国内该市场的空间将达到六七十亿左右。这里指的是包含刻蚀和CVD（化学气相沉积）设备的成套装备。

半导体射频电源主要由两部分构成：前端的射频发生器和后端的匹配网络。这两部分合计构成了我们提到的六七十亿人民币的国内市场空间。然而，这个市场预估还基于一个未明确的因素：国产化率。目前，即便市场空间达到六七十亿，这是在假设国产化率已经达到100%的情况下。实际上，当前半导体设备的国产化率大约为20%。假设未来两年提升到50%，那么对应的市场空间可能仅为三四十亿。

从国产化率的角度来看，我们预期在未来一年内，国产化率将快速达到一个较高的双位数比例。然而，进一步提高市场空间的上限还取决于下游客户国产化率的提升。除非下游客户持续发力，射频电源的市场潜力才能得到进一步开发。

短期来看，未来一年内国产射频电源内部的技术进步仍将提供显著增长动力（强阿尔法）。长远来说，市场增长更有可能由整体行业发展趋势（贝塔）所驱动。在竞争格局方面，我们分析了国内外主要厂商的相关收入，发现2022年的市场呈现寡头垄断状态。美国两大厂商占据了主导地位，其中MKS占据约60%市场份额，AE接近30%，两者共占市场份额的九成。此外，虽然日本和德国也有少量供应，但其他供应商的市场份额相对较小。

自去年起，中国国产厂商像英杰电气和运城等也开始提供小批量供应。我们对美国、日本、德国以及中国主要厂商的竞争格局进行了更为详细的分析。

5. 半导体电源国产化替代浪潮

美国方面，如提及的MKS、AE现在呈现寡头垄断状态，占据了半导体射频电源行业龙头和龙二的位置。另一家美国公司Comdel，也是半导体射频电源供应商之一。其次，我个人判断行业内排名第三的应该是日本的DAIHEN公司，除MKS、AE之外，还有美国的Comdel。除了这四家美国和日本公司之外，德国创建者旗下的霍廷格是另一家主要玩家。霍廷格此前虽然也生产射频电源，主要集中在光伏领域，可能在过去两年才开始加速向半导体领域拓展。

国内方面，有英杰电气、恒运昌和华创旗下的北方微电子。在2020年，亦有北广科技在视频电源领域的一些资产被收购。就竞争格局来说，受供应中断影响，美国上述三家公司受到相对较大的影响，无论是MKS、AE还是Comdel，获取它们的产品变得更为困难，即便能购买，数量也可能大为减少。

关于位居行业前列的日本公司，尽管目前仍然可以完成一定的采购，但存在人们担心日本会进一步跟进制裁的可能性。虽然目前没有具体落地，这种不确定性引起了担忧，所以无论是美国还是日本的公司，都在一定程度上受到政策的干扰。

德国的霍廷格之前主要生产光伏产品，但最近两年开始切入半导体领域。目前国内的半导体设备厂商，以往可能更倾向于美国和日本的产品，如今开始更多考虑德国的产品能否取得突破。尽管如此，我认为德国最终可能只是一个过渡性选择，最终国内市场仍会是主要倾向。国内如英杰电气、恒运昌和北方微电子等公司实际上可以视为下游三大核心半导体设备厂商的战略合作伙伴。

具体到这些企业，英杰电气主要是国内合作伙伴，而恒运昌主要与拓荆科技合作，北方微电子则是华创旗下的子公司。因此每家半导体设备公司基本都有一个稳定的半导体射频电源供应伙伴。我们继续看好英杰电气在半导体射频电源方面的进展，并将在会议最后提出对整个半导体射频电源行业的投资建议。

之前我们讨论的较多的是行业大局，接下来会详细涉及具体的投资对象。对于半导体射频电源行业，我们的核心推介是英杰电气。从上市公司的角度来看，当前从事该领域的上市公司并不多，主要以英杰电气为主。恒运昌是非上市公司，北方微电子属于华创旗下，无法直接参与投资，更多是通过购买华创股份的方式间接参与。

6. 国产半导体设备电源钜变

英杰电气在过去两年中光伏领域的表现充分证明了其实力，无论是光伏的硅料电源还是硅片电源，市占率都达到了70%至80%的水平。公司的核心逻辑是，未来将产品线从硅料和硅片的电源延伸至电池电源。尽管存在担忧，即光伏行业可能会出现资本开支减少，甚至订单下降，但我们仍然关注这一动向和潜在的市场占有率下滑风险。

对于产品类别的延伸，我们重点关注从国家级硅片到电池电源这一转变是否能够有效补充潜在的市场下滑。此外，最受瞩目的是公司在半导体领域的横向突破。英杰电气与中微公司合作已久，最早在13至14年左右就开始进行MOCVD电源的合作，并且该电源属于直流电源。继MOCVD电源后，大约在2017至2018年左右，英杰电气基于MSAD电源的成功经验，进一步扩展到刻蚀机核心电源领域。

据我们了解，目前英杰电气在半导体核心电源领域已经获得了数千万元级别的大订单，并且从头部客户那里获得了不同量级的订单。可以认为，英杰电气在半导体设备电源国产化替代方面居于领军地位。在光伏基础业务方面，我们预期整体情况应该能够保持稳定，不会出现明显下滑。半导体领域将是公司未来业绩增长的核心，我们相信这不仅会带来业绩增长，也将推动公司估值的提升。

半导体产业预计将迎来"戴维斯双击"现象，在未来一至两年内实现行业增长及估值提升。我们认为，从2023年第四季度开始，整个行业的国产替代进入了加速期，这种替代很可能在一年左右的时间内实现全面国产化，达到较高的国产化率。

我们认为，英杰电气作为国内半导体智能电源的领军企业，参照美国AE和MKS这两家寡头垄断的市场竞争格局，未来在整个半导体射频电源领域有望占据很大份额，并拥有巨大的成长潜力。我们将持续关注并推荐半导体智能电源行业，尤其是英杰电气。