三、半导体设备

半导体设备取得大进展核心标的:

1.张江高科;公司旗下微装公司是国内唯一、全球第四家生产前道光刻机的企业。

2.福晶科技:公司生产的KBBF晶体属于激光设备的上游关键零部件，用于建造超高光分辨率光电子能谱仪、光刻技术等前沿领域。

3.奥普光电:子公司禹衡光学是国内光栅编码器(光刻机核心运动平台的关键元件)龙头厂商，打破国外垄断。控股股东长春光机所是国内唯一承担 EUV光刻机研发任务的研究所，已取得包括核心光源系统在内的多项突破。

4.炬光科技:公司为荷兰 ASML核心供应商A公司提供光刻机用光场匀化器和半导体晶圆退火核心元器作茂莱光学:掌握光刻机曝光物镜超精密光学元件加工技术，目前产品已用于上海微电子的光刻机

5.麦克奥迪：国望光学和科益虹源（国内第一，世界第三。）都是亦庄旗下公司，光刻机最大的预期差就在亦庄手里，截止目前A股亦庄唯一控股的上市公司是麦克奥迪。麦克奥迪业务光学镜头实锤供货光刻机。光刻机最大预期差是麦克奥迪，预期同一控制下进行重组，国望光学和科益虹源+光刻机光学镜头供应商。

6.金力泰 (SZ:300225)： 公司控股子公司上海金杜新材料科技有限公司于2020年11月5日收到上海微电子装备（集团）股份有限公司签署的《外协件采购通用条款》，上海金杜正式成为上海微电子的合格供应商

7.苏大维格 公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是该公司光刻机产品的重要部件。公司长期从事激光直写光刻机的研制，尤其在用于新一轮光子传感器的纳米光刻机研制领域积累了丰富且较为完善的技术经验，可为国内外高等院所和企业提供自主可控的直写光刻技术和光电子材料与器件技术方案。

8.海立股份：2021年10月26日下午，海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式。微电子装备集团董事长干频指出，海立集团在我国制冷压缩机行业具有领先地位，双方已经形成了良好的合作基础。希望双方以封装光刻机的冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。值得注意的是海立集团与上海微电子同属上海电气集团。

9.赛微电子 ：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。光刻机透镜核心部件（ASML为公司前五大客户），与武汉敏声共建供货被卡脖子的华为5GBAW滤波器生产线6月份投产。

10.蓝英装备 ：瑞士子公司UCMAGAG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机的光学系统关键部件的清洗设备。

11.华微电子：华微电子正在加快推进与长春光机所、华为在光刻机领域的合作实力与上海微还是有差距。

12.茂莱光学（688502）：招股书显示，DUV光学透镜给上海微电子供货。

13.腾景科技：光刻机里面最小市值股性也不错，公司产品为合束器，分束器，目前小批量导入阶段，主要客户为国内大型芯片生产企业。

14.正帆科技:自然是了解这种业务模式，因此基于工艺介质系统，在努力拓展MRO（维修、维护、运行服务）、特种气体（磷烷、砷烷等等）、半导体零部件（气柜模组Gas Box）等业务。

15.富创精密：解决了包括光刻机中的光刻主机板、微动框架等制造技术。

16.新莱应材（300260）：新莱应材产品真空阀门供货上海微电子。

17.江丰电子（300666）：公司与国内半导体设备龙头上海微电子等多家厂商联合攻关、形成全面战略合作关系。

18.联合光电（300691）：3月8日在投资者互动平台表示，公司是一家集光成像、光显示、光感知为核心技术的专业镜头、光电产品的制造商及光学系统解决方案提供商。经过多年光学领域技术的沉淀和深耕，公司掌握了光学镜头及光电产品的设计开发、超精密模具技术及智能制造技术，拥有非球面镜片、菲涅尔镜片、自由曲面镜片等核心光学器件的制造工艺，从光学设计、模具设计、精密加工、开发到全智能组装制造系统已形成完整的产业链。目前，公司的光电产品广泛用于安防视频监控、新型显示、智能驾驶等领域。公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，具体的产品可根据客户的需求进行合作研发并定制。

19.上海电气 (601727) ：上海微电子是目前中国第一家也是唯一一家光刻机巨头，具备90nm及以下的芯片制造能力。根据公开数据，上海微电子光刻机出货量此前已占到国内市场份额超过80%。上海微电子目前最大股东为上海电气的控股股东电气控股，股本占比达到 32.09%。

20.美埃科技：最近公司在互动平台表示，公司为开发国内首台28纳米光刻设备的上海微电子所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1级）洁净环境提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。公司从2006年至今为中芯国际多地工厂供应风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障中芯国际系的历代产品线（包括中芯国际最先进的14nm和28nm制程）对空气洁净度的要求。

21.芯碁微装(688630): 从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务。

22.晶方科技：荷兰光刻机制造商A SML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。

23.东方中科 (002819) ：在投资者互动平台表示,北京科益虹源光电技术有限公司确为公司客户,已向其供货。科益虹源是国家02重大专项“准分子激光技术”成果的产业化载体,开展浸没光刻光源的关键技术攻关以及产品开发,实现6kHz重频下60W的激光输出功率,进入国际上最高端的DUV光刻光源产品系列。

24.大族激光：(002008) : 大族激光公司光刻机项目仍主要应用在分立器件。光刻机已接到了少量订单，真正实现小批量销售。目前，公司光刻机项目仍主要应用在分立器件领域，公司将根据市场需求及业务发展情况制定研发计划

四、华为低空飞行器

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