1、2022年1-4月份公司新接半导体清洗订单超过6亿元，预计2022H1订单将接近2021年全年水平，2022年 订单预期超过20亿，其中单片订单占比70-80%。单片设备收入占比持续提升，远期预期占比逐步达到80- 85%。产能方面，2021年底半导体清洗产能约在100台/年，2022年产能预计可达150-200台/年。

 2、公司半导体清洗设备产品已经覆盖了28 nm，14-7 nm也有一些产品，目前下游来看，以逻辑为主，特 色工艺也接了不少，存储相对较少。存储有望快速增长，该领域目前主要是合肥长鑫，已经拿到了核心工 序设备，也开始和长存在谈一些技术。现在公司客户集中度较高，前五大客户占到订单的70%。

 3、2021年半导体清洗设备毛利率33.64%，较高纯工艺要低一点，主要系单片设备还处于产能爬坡的阶 段，2021年单片毛利率不到30%。2022年单片放量，进入第二个阶段，毛利率会快速提升，希望可以达到 40%，中长期半导体清洗设备毛利率预期40-50%。

 4、未来整个高纯业务板块将会按照设备板块、服务板块和耗材板块进行区分。公司在高纯工艺方面，以建 立用户粘度为主。由外向内渗透，布局更多产品。大宗气体发展潜力巨大，但市场壁垒高，公司由外向内 发展，突破垄断市场。2022年一个onset大宗气站正式开工，签约15年，未来对标法液空、空气公司。