半导体设备+光刻胶+股票激励+华为海思 1、2026年4月22日年报，公司光刻胶显影液TMAH回收技术在客户端验证成功，蚀刻液回收技术完成研发，电子化学品材料收入4949.44万元，同比增长72.28%，并已完成L/S双腔机型、真空及温控设备样机开发，半导体附属设备及关键零部件实现国产化并送国际客户验证。 2、公司下属子公司盛剑微光刻胶剥离液产品已实现产销。2026年5月18日盘后纪要，2025 年光刻胶显影液（TMAH）回收技术在客户端测试验证成功，蚀刻液回收技术研发完成。 3、2026年5月21日公告，公司于2026年5月21日召开董事会审议通过《2026年限制性股票激励计划草案》等相关议案。 4、公司深耕半导体工艺废气治理领域多年，半导体领域逐步完成了工艺废气处理设备、真空设备和温控设备的国产化研制。公司持续服务于中芯国际等企业。公司和长江存储旗下武汉新芯有合作，合肥盛剑微潜在绑定长鑫。 5、公司为华为武汉研发生产项目-海思光工厂洁净室提供工艺废气治理系统。