招商证券：TOPCon进入密集扩产期，今年下半年至少305家企业启动大规模超标，年均设备需求超120亿
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①TOPCon电池相较于PERC电池有较强的延续性，主要区别在钝化层制备，TOPCon增加了隧穿氧化层及多晶硅沉积设备，还要用更多的硼扩散装备，其余制备流程与PERC比较接近。
②TOPCon仍处在推广初期，目前主要有LPCVD/PECVD/PVD三种路线，当前LPCVD相对成熟，PECVD未来潜力较大，预计PECVD与LPCVD可能并行。
③晶科能源率先大批量扩张TOPCon，招商证券判断今年下半年将有3-5家企业会启动较大规模的TOPCon扩建，2022-2024年是TOPCon密集扩产的时期，估算年均电池需求超过120亿元，具备先发优势的设备企业将受益。
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招商证券指出，光伏电池片新一轮技术变革正在启动，其中TOPCon的规模化应用以及率先开始，预计除动作迅速的晶科能源外，今年下半年还会有3-5家企业启动大规模TOPCon投建，具备先发优势的装备企业将率先享受新一轮技术升级红利。
1）TOPCon与装备体系与PERC类似，钝化层设备是难点
TOPCon电池相较于PERC电池有较强的延续性，主要区别在钝化层制备，TOPCon增加了隧穿氧化层及多晶硅沉积设备，还要用更多的硼扩散装备，其余制备流程与PERC比较接近。
隧穿氧化层生长及多晶硅层沉积是TOPCon工艺难点，其单GW设备投Zi较PERC增加约3000-4000万元，主要系：

①由于硼扩散的速度较慢，因此硼扩设备shυ量增加；
②增加隧传氧化层与多晶硅层制备。

目前TOPCon产线基本为新建产能，后续扩产可能也将以新建为主。

2）钝化层制备路线不同，PECVD与LPCVD可能并行
PERC电池装备经过较长时期技术工艺探索和实证检验后工艺趋于成熟，企业间差异不明显。
TOPCon仍处在推广初期，因此在隧穿氧化层、多晶硅层的制备方面选择也比较多样，目前主要有LPCVD/PECVD/PVD三种路线。
LPCVD相对成熟，钝化效果好，但热壁沉积等问题会增加运维成本；PECVD路线目前应用进度不如LPCVD，但潜力较大，如果其技术问题得到解决，考虑综合成本降本是不错选择。
目前PECVD与LPCVD目前设备造价基本在1.6-1.9亿元/GW附近，主要差异在背膜沉积设备，其余设备价值量基本相同。
3）TOPCon规模应用已经启动，将带来相应的需求与机会
晶科能源等公司在成功解决绕镀等技术难题后，率先启动TOPCon的大扩产。
目前TOPCon相较PERC已有一定经济性，随着未来TOPCon众多技术应用与规模效应体现，其经济性将进一步加强。
招商证券判断今年下半年将有3-5家企业会启动较大规模的TOPCon扩建，2022-2024年是TOPCon密集扩产的时期，估算年均电池需求超过120亿元，具备先发优势的设备企业将受益。