异动
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倚楼
2025-09-17 21:47:22
有深度
@韭韭韭感冒灵: 光刻机的制造涉及光学、精密机械、材料科学、电子控制等多学科交叉,产业链可划分为核心光学系统、精密机械与运动控制、光源与照明系统、光刻胶与配套材料、检测与校准五大环节。目前,我国在精密光学元件、光源系统、部分材料及配套设备领域已实现局部突破,但高端光刻机(如EUV)仍依赖进口,国产替代空间巨大。 本文
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