半导体设备零部件+供货中微公司 1、等离子体射频电源系统是我国半导体设备“卡脖子”的关键零部件之一；公司自研产品包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子直流电源以及配件等。 2、公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体设备电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。 3、公司于2025年1月启动新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品的研发，该系列产品可支撑5纳米及以下先进制程。据公司问询函回复，该产品预计2025年第四季度推出样机、并于2026年二季度实现销售。