华海清科(688120)公司系是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主营半导体专用设备的研发生产,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。CMP 是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺,公司所生产 CMP 设备可广泛应用于 12 英寸和 8 英寸的集成电路大生产线,产品总体技术性能已达到国内领先水平。公司推出了国内首台拥有核心自主知识产权的 12 英寸 CMP 设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供 12 英寸 CMP 商业机型的高端半导体设备制造商;公司所产主流机型已成功填补国内空白,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,有效降低了国内下游 客户采购成本及对国外设备的依赖,支撑国内集成电路产业的快速发展。
公司核心研发团队先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项(02 专项)”及三项国家 级重大项目/课题,针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线 检测、大数据分析及智能化控制等 CMP 设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局,打破了国外巨头的技术垄断,真正实现了国内市场 CMP 设备领域的国 产替代。公司研制的CMP设备产品全面覆盖集成电路制造过程中的非金属介质CMP、金属薄膜 CMP、硅 CMP 等抛光工艺并取得量产应用,高端 CMP 设备的工艺技 术水平已在 14nm 制程验证中,形成了硬件+技术服务的全方位体系。公司 CMP 设备已累计出货超 140 台,未发出产品的在手订单超 70 台,设备已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外先进集成电路制造商的大生产线中。此外,公司以自有 CMP 设备和自主 CMP 技术为依托,针对下游客户生产 线控片、挡片的晶圆再生以及设备关键耗材采购、维保等需求,积极拓展晶圆再 生业务和关键耗材销售和维保等技术服务业务,现已成功获得业务订单并形成规模化量产。
当前全球 CMP 设备市场处于高度垄断状态,主要由美国应用材料和日本荏原两 家设备制造商占据,两家制造商合计拥有全球 CMP 设备超过 90%的市场份额,尤其在 14nm 以下最先进制程工艺的大生产线上所应用的 CMP 设备仅由两家国 际巨头提供。 2020 年中国大陆 CMP 设备市场规模达 4.3 亿美元,但绝大部分的高端 CMP 设备仍然依赖于进口,也主要由美国应用材料和日本荏原两家提供;国内 CMP 设备的主要研发生产单位有华海清科和北京烁科精微电子装备有限公司,其中华海清科是国产 12 英寸和 8 英寸 CMP 设备的主要供应商,占据国产 CMP 设备销售的绝大部分市场份额。
公司2021年实现主营收入8.05亿元,同比增长108.58%;实现净利润1.98亿元,同比增长102.76%。公司2022年一季度实现主营收入3.48亿元,同比增长192.85%;实现净利润9123.60万元,同比增长121.63%。公司预计2022年1-6月营业收入:55,000万元至70,000万元,同比增长:87.32%至138.41%;预计2022年1-6月实现净利润盈利4,000万元至18,000万元,同比增长98.46%至155.17%。行业内主要竞争对手:北京烁科精微电子、美国应用材料和日本荏原。