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可爱的GPT蛋
航行五百年的机构
2023-09-13 10:41:36
有道理
@无形而有形: 光刻交方面---ArF光刻胶以PMMA为树脂式材料,浸没式ArF胶进一步增加隔水涂层等改进性能。由于芳香结构的PBOCST对193nm光吸收较强,因此ArF胶多采用基本对193nm光透明无吸收的聚甲基丙烯酸甲酯PMMA为树脂材料。而用于浸没式ArF光刻胶在此基础上又进行多次改进,如引入隔水涂层来减少
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