一、四代同步辐射光源HEPS概念整理

第四代同步辐射光源就是为EUV光刻而生的！

1，同步辐射光源目前已经在建的是第四代。

2，四代同步辐射光源的特点是: -占地小(当然还是很大的，足球场);

-输入能量大为减少;

-输出光源亮度更大(四代完全达到光刻需求);

-频率可以精准控制，可以只输出13.5纳米的EUV(这一点以前是不行的，以前频谱是连续的);

一可以连续稳定工作(二代已经母天15小时，每年5000小时)。

3，EUV从同步辐射光源出来就是高度平行光，连光路可以省去，直接掩膜曝光。

4，DUV对光刻胶挑肥拣瘦，十分敏感;但EUV可以固化一切遇到的光刻胶，不挑食。

5，我国建造一座三代同步辐射光源的投入是12亿元;一台阿斯麦 EUV光刻机是一亿美元，7亿人民币。

更劲爆的是:

四代同步辐射光源输出更短波长的 EUV，如3纳米，那是轻轻松松的事情。

从中国科学院高能物理研究所获悉，6月5日，国家重大科技基础设施高能同步辐射光源（HEPS）直线加速器通过了工程指挥部组织的工艺验收。

HEPS直线加速器是电子的源头和一级加速器，建设团队提前规划，认真组织，基本按计划完成了建设任务。HEPS工程总指挥潘卫民说，为了更好的优化直线加速器束流参数，提高增强器和储存环建设和调束的效率，更好地完成HEPS装置建设任务，工程指挥部加强过程管理，组织直线加速器专项工艺测试和验收。

工艺验收组由詹文龙、陈森玉、陈和生、夏佳文、赵红卫、赵振堂、邓建军、封东来、唐传祥、刘克新、王东、何源等加速器领域的院士及专家构成，验收组听取了HEPS直线加速器负责人李京祎关于直线加速器设计、设备研制、安装、调束等建设情况的汇报，工艺测试组组长陈怀璧工艺测试情况的汇报。经过认真讨论和评议，验收组一致认可工艺测试结果，各项指标全部达到或优于批复的验收指标，总体性能达到同类设备国际先进水平，同意HEPS直线加速器通过工艺验收。

东方钽业：铌金属具有超导性能优异的特点，是粒子加速器中铌超导腔的核心材料，主要应用于高能同步辐射光源（HEPS）、加速器驱动嬗变研究装置（CiADS）、硬 X 射线自由电子激光装置（SHINE）、强流重离子加速器装置（HIAF）等国家大科学装置，是国家重点支持产业。

中广核技：旗下子公司中科海维研（目前更名为广核辐照技术）发成功上海光源（SSRC）加速管，成为国内首家实现该型高科技产品产业化的企业，并出口用于巴西国家重大科研项目——“巴西光源”。

国光电气：中标中国科学院高能物理研究所高能同步辐射光源（HEPS）高次模抑制器。

宝胜股份：中标中国科学院高能物理研究所HEPS电线电缆。

长飞光纤： 北京博邦弘光科技有限公司中标中国科学院高能物理研究所采用长飞光纤光缆产品。

英杰电气：中标高能同步辐射光源（HEPS）调功柜。

二、清华光刻工厂概念

粒子加速器(中广核技、国力股份，粒子加速器相当于光的动力装置）--- > 高能同步辐射光源。

-射频腔：东方钽业、西部材料；

-高次模抑制器：国光电气

-HEPS特种电缆：宝胜股份

-同步辐射科学仪器：必创科技