评论：                                                                                                           新增订单及合同负债持续高增长，公司盈利能力快速释放。受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司2022Q1-Q3营业 收入同比+46.81%至30.43亿元，其中刻蚀设备收入同比+48.00%至20.01亿元，毛利率达到46.48%（CCP/ICP刻蚀设备收入分别为14.51/5.51亿元，同比+29.27%/+139.33%）；MOCVD设备收入同比+27.70%至3.88亿元，毛利率达到35.83%。订单维度，公司2022Q1-Q3新签订单金额同比+60.24%至56.40亿元，单3季度新签订单25.83亿元，合同负债由6月末的15.94亿元增长至9月末的19.69亿元，在手订单充沛支撑公司业绩持续高增长，规模效应下利润有望加速释放。                                                                     行业高景气叠加国产替代加速，国产半导体设备厂商份额持续提升。成熟制程供不应求带动国内晶圆厂加速扩产，中美贸易摩擦背景下设备国产化趋势明显，公司CCP设备和ICP设备正快速突破。以3D NAND为例，公司CCP刻蚀设备可应用于64层、128层及更高层数NAND的量产，同时正在开发新一代能够涵盖200层以上极高深宽比的关键刻蚀应用以及其他关键刻蚀应用的刻蚀设备和工艺，在存储设备国产替代过程中，公司将占据重要地位。                                                                                    公司刻蚀设备持续受益于行业高景气，MOCVD业务有望迎来拐点。刻蚀设备方面，公司CCP设备竞争优势明显，ICP产品已在超过15家客户的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，未来有望成为公司刻蚀业务新的增长点。MOCVD设备方面，公司2022年前三季度MOCVD设备收入为3.88亿元，同比增长27.70%，前三季度毛利率达到35.83%。随着下游客户持续加码Mini LED技术，公司凭借技术优势有望显著受益于行业需求提升。                                                                                              投资建议：全球半导体设备市场持续高景气，公司显著受益于刻蚀设备需求增长；同时Mini LED技术趋于成熟，下游LED芯片厂商积极扩产，公司MOCVD设备业务将迎来业绩拐点。我们预计公司2022-2024年营业收入分别为45.0/61.0/81.4亿元，结合公司历史估值区间及行业平均估值水平，给予2022年22倍PS，对应目标价为160.51元，维持“强推”评级。