根据“02专项计划”，我国光刻机研发工作亦采用类似“Out House”的研发模式，上海微电子负责整机的设计与集成，另有五家企业各自负责对光刻机不同核心零部件的研发，科益虹源负责光源系统，国望光学负责物镜系统，国科精密负责曝光光学系统，华卓精科负责双工作台，启尔机电负责浸没系统。值得一提的是，这五家承担核心零部件研发企业，均与中国顶尖高校联系紧密，代表着中国最顶尖的半导体研发实力。下面对这“1+5”共6家公司以及背后的上市公司做一梳理。仅供参考，不做投资建议。

一、上海微电子IC前道制造光刻机能实现90nm芯片量产，目前在攻克28nm光刻机。也别小看了90nm的工艺制程，WiFi芯片、LCD驱动芯片、电源管理芯片、射频芯片、各种数模混合电路等等都是90nm光刻机制造。涉及上市公司：
【（600895）张江高科】张江高科通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司10.779%股权，为其第四大股东。
【（601727）上海电气】公司母公司上海电气控股集团有限公司为上海微电子第一大股东。其他有业务关系的公司若干，在此不一一赘述。

二、北京科益虹源北京科益虹源光电技术有限公司成立于2016年7月，主营光刻机光源系统，拥有准分子激光技术研究、产品开发的能力。光源则是高端光刻机另一核心部件，光源波长决定了光刻机的工艺能力。目前，中国科学院微电子研究所持股26.61%。公司的研发基地在北京亦庄，北京亦庄国投持股17.86%。

三、北京国望光学北京国望光学科技有限公司成立于2018年，经营范围包含光刻机曝光光学系统、高端镜头、光电仪器与装备、光学加工与检测设备等。国望光学在光刻机产业链的定位是物镜系统供应商。高端光刻机含有上万个零部件，而光学镜片则是核心部件之一。高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力，重要性不言而喻。目前，北京亦庄国际投资发展有限公司持股国望光学66.67%，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所持股国望光学14.67%。

领导9月21日去咯华卓精科视察，有意思，很有意思啊 ！在北京华卓精科科技股份有限公司，李强详细了解关键核心技术攻关与产业化进展，并走进车间，细致察看产品核心部件和设备集成调试情况，与企业负责人就集成电路产业创新发展深入交流。他强调，必须坚定不移把一些关键技术、关键环节建立在能够独立自主的基础上，把发展的主动权牢牢掌握在自己手中。

上海微电子装备 负责光刻机设计和总体集成，
科益虹源 提供光源系统，
国望光学 提供物镜系统，
国科精密 提供曝光光学系统，
华卓精科 提供双工件台，
启尔机电 提供浸没系统。