相关光刻机（胶）概念股一览：

张江高科：参股上海微电子，通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子10.779%股权，为其第四大股东；

蓝英装备：公司控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML提供精密清洗解决方案；

波长光电：公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套。

福晶科技：公司生产的KBBF晶体是光刻机的重要的上游原材料，KBBF晶体是国防和民用市场上都无法或缺的重要技术；

茂莱光学：茂莱光学的DUV光学透镜已经在给上海微电子供货；

上海电气：公司控股股东上海电气控股集团为上海微电子实控人，持有上海微电子32.09%股权；

炬光科技：间接供货光刻机巨头ASML。公司为客户提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商的重要供应商。晶圆退火领域，公司推出的半导体集成电路退火系统，已经进入上海微电子、华卓精科、韩国DIT等客户供应体系；

苏大维格：公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是该公司光刻机产品的重要部件；

赛微电子：公司与ASML合作，在瑞典和北京分别拥有数台光刻机，此外公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务；

金力泰：全资子公司上海金杜是上海微电子的合格供应商，向其提供应用于其产品零部件的表面处理服务；

麦克迪奥：国望光学和科益虹源（国内第一，世界第三，供货上海微电子）都是亦庄旗下公司，截止目前亦庄唯一控股的上市公司是麦克奥迪，麦克奥迪主业光学镜头实锤供货光刻机。