国力股份：东方钽业 中广核技补涨——粒子加速器 SSMB 同步辐射光源
Waterhal
2023-09-15 14:43:33
粒子加速器(中广核技、国力股份，粒子加速器相当于光的动力装置）--->高能同步辐射光源（射频腔：东方钽业、西部材料；高次模抑制器：国光电气；HEPS特种电缆：宝胜股份；
清华大学SSMB-EUV光源横空出世，功率达到EUV光刻机40倍-虎嗅网
第四代同步辐射光源是为EUV光刻而生的
1，同步辐射光源目前已经在建的是第四代。
2，四代同步辐射光源的特点是: -占地小(当然还是很大的，足球场);
-输入能量大为减少;
-输出光源亮度更大(四代完全达到光刻需求);
-频率可以精准控制，可以只输出13.5纳米的EUV(这一点以前是不行的，以前频谱是连续的);
一可以连续稳定工作(二代已经母天15小时，每年5000小时)。3，EUV从同步辐射光源出来就是高度平行光，连光路可以省去，直接掩膜曝光。
4，DUV对光刻胶挑肥拣瘦，十分敏感;但EUV可以固化一切遇到的光刻胶，不挑食。
5，我国建造一座三代同步辐射光源的投入是12亿元;一台阿斯麦 EUV光刻机是一亿美元，7亿人民币。
简单来说，SSMB-EUV光源路线是以工厂化的模式，将原本用于科研的大科学装置来产生极紫外光源，从而绕开了ASML超高功率、超高重复频率二氧化碳激光器的技术路线。
形象一点的比喻就是将ASML EUV光刻机里面小型的光源部件光源变成类似工业园中的大型基础设施，功率达到10千瓦（为ASML EUV光源的40倍）供几台甚至几十台EUV同时使用。
ASML的EUV光刻机的光源是小型化产品，便于运输，主要用于销售。光刻机的镜头要求非常精密，因为光源要在5米内进行1nm级别的移动。我们目的是造芯片，虽然微型的我们做不出来，那我们就利用地大物博的优势，通过“工厂化”成功降低技术难度，对反射镜要求更低，完全支持大规模的芯片生产，妥妥的暴力美学。
作者在2023-09-15 16:10:03修改文章
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