9月20日,在安徽省合肥市未来大科学城,合肥先进光源国家重大科技基础设施项目及配套工程宣布启动建设,建成后将成为国际先进的低能量区同步辐射装置,使我国形成全能量区覆盖的先进光源体系,加快推动合肥等地成为世界级光子科学研究中心和产业研发高地。
据了解,合肥先进光源是国际最先进的第四代同步辐射光源,据新安晚报报道,在第五届安徽大学创新发展高峰论坛上,中国科学院院士、中国科大国家同步辐射实验室主任封东来教授表示,合肥先进光源预计在2027年建成。
他指出,光源建成之后,可以在光刻工艺、芯片无损检测、新型器件与探测器等方面发挥作用,对复杂材料可以直接研究。
第四代同步辐射光源HEPS就是为 EUV光刻而生的! 已经有很多老师普及了,这里不再描述,附上几张图。
再结合今天中信证券最新研报,中信证券:若SSMB方案商业化进展顺利,我国将在光刻机领域取得重大突破,建议重点关注两条投资主线
你可以质疑中信证券的人品,但不要怀疑中信证券的研究能力。中信敢这么说,肯定是对产业链有一定了解。SSMB光刻厂存弯道超车可能,存在巨大预期差。