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每天一个橘子
2023-09-22 09:10:19
嗯嗯
@戈壁淘金: 引子:光源决定光刻机高度,回顾光刻机发展历史,ASML正是选择了激进光源技术才实现了换道超车。SR光源和EUV光源均属于软X射线波段,但由于SR光源束团长度较长,产生的光相干性较差功率较小,限制了其在工业领域的大规模量产,SR光刻仅停留在实验室阶段。 SSMB方案极具潜力,SSMB存储环中的自由电子
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