异动
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JasonCraig
2023-03-09 07:43:59
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@踏浪修行王地瓜: 涂胶/显影设备是在光刻工艺中与光刻机配合作业的重要设备。在曝光前,由涂胶机进行光刻机的涂覆;而后是光刻机对光刻胶进行曝光;在曝光后由显影设备进行光刻图案的显影。在后道的先进封装中,使用类似前道的制造方式,所需涂胶/显影设备类别也大体相同,只在关键尺寸与精度上同前道有区别。1. 原理涂胶/显影机作为光
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