公告日期：2023-03-13

证券代码：688056 证券简称：莱伯泰科 公告编号：2023-009
北京莱伯泰科仪器股份有限公司

关于自愿披露公司发布新产品的公告

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

重要内容提示：

2023 年 3 月 10 日，北京莱伯泰科仪器股份有限公司（以下简称“莱伯泰科”或“公司”）正式公开发布针对半导体行业研发生产的电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪 LabMS 5000 ICP-MS/MS。

LabMS5000 ICP-MS/MS 采用工业标准 27MHz 固态发生器，具有极高的系统稳定性；使用MS/MS 模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果；低背景惰性进样系统集成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用范围；智能软件平台 HiMass，适用于实验室的各种分析需求，极大提高工作效率。

新产品的发布，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的发展将产生积极的影响。

公司新产品已取得订单并实现发货。

一、新产品基本情况

莱伯泰科于 2023 年 3 月 10 日正式公开发布针对半导体行业研发生产的电感耦合等离子体三重四极杆质谱仪LabMS5000ICP-MS/MS。该产品采用工业标准 27MHz 固态发生器，具有极高的系统稳定性；使用 MS/MS 模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果；低背景惰性进样系统集成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用范围；智能软件平台 HiMass，适用于实验室的各种分析需求，极大提高工作效率。

LabMS5000 ICP-MS/MS 可用于监控半导体硅材料、第三代半导体材料、湿电子化学品、电子特气、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，已通过半导体行业SEMI S2、SEMI E78 认证，助力半导体芯片企业制造商控制产品质量，提升良率。

二、新产品对公司的影响

2021 年 5 月 20 日，莱伯泰科正式对外发布了电感耦合等离子体质谱仪LabMS3000 ICP-MS 并在多个领域实现了产品销售，首次实现了国产 ICP-MS 在半导体行业芯片生产线上的应用，打破了国外产品的长期垄断。LabMS5000ICP-MS/MS 是在 LabMS3000 ICP-MS 产品的基础上推出的全新一代三重四极杆质谱仪，主要用于无机元素检测。目前国内半导体行业用于无机元素检测的三重四极杆质谱仪以进口产品为主，公司自主研发的该产品能够实现国产替代。LabMS5000 ICP-MS/MS 产品的成功研发，体现了莱伯泰科在高端科学仪器领域的自主研发创新能力，进一步丰富了公司分析测试仪器产品线，拓宽了公司产品的应用领域。本次新产品的发布，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的发展将产生积极的影响。目前该产品已取得订单并实现发货。

三、相关风险提示

公司本次发布的新产品要实现大规模销售，尚需通过更多客户对该产品进行试用和评估，存在未来市场推广及客户开拓不及预期的风险。敬请广大投资者注意投资风险，理性投资。

特此公告。

北京莱伯泰科仪器股份有限公司董事会
2023 年 3 月 13 日