第10 大族激光
盈利能力：净资产收益率12.71%，毛利率37.63%，净利率9.88%
主营产品：其他智能制造装备为最主要收入来源，收入占比81.38%，毛利率34.74%
公司亮点：大族激光生产的接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化。
第9 美埃科技
盈利能力：净资产收益率24.55%，毛利率27.69%，净利率9.53%
主营产品：风机过滤单元及过滤器产品为最主要收入来源，收入占比79.94%，毛利率31.09%
公司亮点：美埃科技为上海微电子开发国内首台 28 纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准洁净环境提供 EFU及 ULPA等产品。
第8 苏大维格
盈利能力：净资产收益率-10.67%，毛利率20.34%，净利率-11.69%
主营产品：微纳光学产品为最主要收入来源，收入占比74.41%，毛利率16.01%
公司亮点：在光刻机关键器件方面，苏大维格向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件。
第7 泰晶科技
盈利能力：净资产收益率12.21%，毛利率32.99%，净利率15.70%
主营产品：晶体元器件为最主要收入来源，收入占比94.74%，毛利率38.60%
公司亮点：泰晶科技在国内率先实现MEMS光刻工艺的产业化应用，光刻晶片包含超高频MHz和kHz，光刻晶片自主研发，自主可控。
第6 电科数字
盈利能力：净资产收益率12.31%，毛利率16.52%，净利率4.45%
主营产品：行业数字化为最主要收入来源，收入占比86.63%，毛利率16.99%
公司亮点：在先进制造领域，电科数字子公司柏飞电子为轨道交通龙头企业提供信号控制产品，为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。
第5 华特气体
盈利能力：净资产收益率10.87%，毛利率25.68%，净利率10.57%
主营产品：光刻及其他混合气体为最主要收入来源，收入占比33.18%，毛利率28.79%
公司亮点：华特气体用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷是国内首家，用于光刻机的光刻气系列产品都是国内首家。
第4 同飞股份
盈利能力：净资产收益率16.24%，毛利率31.43%，净利率15.84%
主营产品：液体恒温设备为最主要收入来源，收入占比53.53%，毛利率25.16%
公司亮点：同飞股份液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。
第3 永新光学
盈利能力：净资产收益率16.90%，毛利率42.58%，净利率31.49%
主营产品：光学元件系列为最主要收入来源，收入占比54.08%，毛利率41.37%
公司亮点：永新光学专业成像镜头范围较广，包括专业影像镜头、机器视觉镜头、LDI光刻机镜头等。
第2 芯碁微装
盈利能力：净资产收益率15.47%，毛利率43.11%，净利率21.81%
主营产品：产品销售为最主要收入来源，收入占比95.43%，毛利率42.08%
公司亮点：芯碁微装将尽快推出量产90nm节点制版需求的光刻设备以满足半导体掩膜版技术的更新迭代。
第1 新莱应材
盈利能力：净资产收益率15.59%，毛利率27.02%，净利率9.22%
主营产品：无菌包材为最主要收入来源，收入占比38.23%，毛利率17.83%
公司亮点：新莱应材真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中。