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凯美特气不论DUV还是EUV离不开的激光气体
盛斗士
2023-09-18 06:27:56

湖南凯美特气体股份有限公司(以下简称“公司”)控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司(以下简称“凯美特电子特种气体公司”)生产的用于ExciStar激光器的193nm激光混配气已在Coherent(相干)德国公司设备上经过了测试,于2021年9月24日收到Coherent(相干)公司发来的针对以上激光混配气产品通过其测试结果的确认函;2023年1月4日收到Coherent(相干)公司发来的针对以上激光混配气产品通过其资格认证文件。

一、Coherent(相干)公司基本情况介绍

      Coherent(相干)公司于1966 年在加利福尼亚成立,是一家为科学、商业和工业客户提供激光和基于激光技术的全球供应商,是世界领先的光子解决方案制造商。在激光产业中,Coherent(相干)公司作为全球领先的激光技术供应商的地位50余年无人撼动。Coherent(相干)公司拥有遍布全球的生产和研究设施,提供从激光测量和控制产品到精密光学和激光系统的产品,产品服务于科研、医疗、工业加工等多个行业。五十多年来,Coherent(相干)公司秉承激光制造经验和创新精神,致力于提供一流的商业化激光器,促进科学研究不断进步、生产制造行业生产力和加工精度的不断提高,其全球化的销售、客户服务和技术支持网络更为客户提供全球范围内的合作和服务。

二、对公司的影响

      Coherent(相干)公司对凯美特电子特种气体公司准分子激光气体产品的测试结果证明了公司准分子激光气体的产品质量以及在电子特种气体领域的钢瓶内壁处理技术的能力,含氟ppm级别多组分气体混配以及气体分析等综合实力已达到国际一流水平,有利于树立公司在电子特种气体行业的高品质形象,准分子激光气体可广泛应用于医疗、光刻、OLED显示等行业,对于公司未来批量销售电子特种气体产品具有积极意义。公司目前为全球为数不多的具备完整准分子激光气体生产及分析能力的气体企业。

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