【东吴证券分析师】当前位置仍建议重点关注, 至纯科技：半导体设备板块较为低估的公司

这两天公司股价涨幅明显，不少投资者询问背后的原因以及后续的空间，我们认为经济环境面临较大不确定性背景下，自主可控是未来一条重要的投资主线，无论是当前业绩还是未来业绩，半导体设备都是自主可控链条里面业绩确定性最强的细分板块之一，公司是半导体设备严重低估的公司，具备较好的配置价值。

①半导体清洗设备产品结构正在发生变化，存储客户也有突破。
过去公司半导体清洗设备给不上估值，除了环节因素外，还有市场觉得跟龙一差距较大，体现在两点：单片清洗设备占比较低，其次存储客户是短板。2022年均有积极变化，产品结构方面，2021年公司半导体清洗设备新接11个亿订单，单片占比不到35%，预计2022年新接订单单片占比有望达到60%；客户结构方面，长鑫和晋华已经有订单，长存下半年也将迎来工艺机台验证，存储客户已经有所突破。2018年以来公司和龙一清洗设备收入差距在快速缩小，预计2022年公司半导体清洗设备新接订单将达20亿，我们预计2022年收入12-13亿，2023年收入预计接近20亿，给8-10倍PS对应市值也有160亿-200亿。

②高纯工艺系统业务下游景气度较高，仍将实现快速增长。
高纯工艺系统业务是公司传统主业，下游主要面向集成电路、光伏等高景气度赛道，仅考虑以上两个行业，我们判断2021国内高纯工艺市场规模将突破200亿元，2021年公司高纯工艺系统收入10.78亿元，市占率不足10%，叠加下游行业高景气度，我们预计仍将实现快速增长。加上光传感器等业务，2022年我们预计利润2.5-3亿，2023年预计3.5-4亿利润，给20倍pe，对应市值70-80亿市值。

③耗材&服务：零部件、晶圆再生、气体打开成长空间。
1）零部件：我们预估 2021年中国大陆半导体设备零部件市场规模约 117 亿美元。2021 年可转债募投项目重点加码，2023年逐步放量（零部件表面处理+腔体结构件），将成为后续发展重点。2）晶圆再生：公司合肥一期产能 7万片月已经投产，预计 2023 年达产；二期规划产能 14 万片月，先发优势明显。3）大宗气体：高纯工艺系统主业的纵向延伸，正在建设半导体级大宗气体工厂，为用户提供至少 15 年高纯大宗气体整厂供应。

仅考虑高纯工艺+半导体设备明年业绩合理市值就超过250亿，公司是半导体设备板块较为低估的公司，当前位置仍建议重点关注。