安集科技：2022E收入10.6-10.9亿元，同比增117%-165%；22Q4单季度收入2.66-2.96亿元，中值2.81亿 元，同比增30.13%。 2022E扣非后归母净利润2.75-3.36亿元，同比增202%-269%；22Q4单季度0.49-1.10亿元，中值0.8亿元， 同比增258%。

 观点：我们认为22Q4单季度收入符合预期、利润略超预期。前期公司股价下跌主要是市场担心存储大客户 先进制程扩产受限、影响公司远期业绩，目前股价已充分反应。 

中微公司：2022E收入47.4亿元，同比增52.5%；22Q4单季度收入16.97亿元，同比增63.90%，环比增 58.41%。 2022E扣非后归母净利润8.6-9.4亿元，同比增165%-190%；22Q4单季度2.16-2.96亿元，中值2.56亿元， 同比增60.59%，环比增26.03%。 

观点：公司2022年新签订单63.2亿元，同比增53%。我们认为22Q4单季度收入、利润符合预期，规模效应 已开始体现，看好公司的核心竞争力、技术实力、业绩成长的可持续性。

 盛美上海：2022E收入27-29亿元，同比增67%-79%；22Q4单季度收入7.22-9.22亿元，中值8.22亿元，同 比增54.15%。 2022E扣非后归母净利润6.2-7.4亿元，同比增218%-280%；22Q4单季度1.39-2.59亿元，中值1.99亿元， 同比增101%。

 观点：新产品PECVD、Track设备交付客户验证，我们看好公司未来几年长期成长性，其将受益于国内晶圆 厂的持续扩产、新产品打开更多空间、海外市场的逐步打开。