高景气赛道，半导体湿法清洗设备高速成长，估值较盛美相对低估。

公司的主营业务主要包括半导体湿法清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让，交易完成后，战略投资者将持有至微科技约22%比例，增资方包括远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡等。

1、半导体湿法清洗设备。2020年全球市场空间约36亿美元，海外四巨头份额超过90%，国内主要供应商包括盛美和至纯等。目前至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。2021年前三季度，至纯该业务新增订单超过8亿元，机构预计全年订单将超过10亿元，已连续4年订单翻倍。机构测算至纯该业务20、21、22年收入为2.2、7-8亿元和13-14亿元收入。

2、半导体高纯工艺系统：在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。目前公司高纯工艺系统客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等。机构预计2021年收入将超过10亿元。

盛美上市在即，至纯科技低估。盛美2021和2022年收入为15和25亿元，清洗设备收入约11.7和17.4亿元，净利润为2.9和4.5亿元。预计至纯科技2021和2022年收入为20和30亿元，清洗设备收入约7-8和13-14亿元，净利润约3.5和3.5-4.0亿元，扣非净利润约2.0和3.0-3.5亿元，其中总收入已超过盛美，半导体湿法清洗设备收入已接近盛美。盛美IPO定价市值约370亿元，上市后或将达到约500-650亿元市值（20-25x PS）。较盛美市值，至纯科技目前市值仅170亿元，比较低估，继续看好半导体设备龙头华创长川至纯。