集微网消息，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年3月，上海积塔、华虹半导体、新昇半导体、芯未半导体、汇芯通信等企业合计招标321台设备，数量高于2月的135台，环比增长137.78%。其中，刻蚀设备3台，薄膜沉积7台，工艺检测12台，离子注入1台，CMP 1台，热处理2台，清洗设备10台。

从中标方面来看，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年3月，北方华创、中微公司、嘉芯迦能、上海微电子装备、应用材料、KLA等企业合计中标129台设备，数量略高于2月的127台，环比增长1.57%。其中，光刻设备3台，刻蚀设备2台，薄膜沉积37台，工艺检测15台，离子注入1台，CMP 6台，热处理4台。

国内设备厂商合计中标82台设备，占比约为63.57%。其中，北方华创共中标28台设备，北方华创3月中标设备数量高于2月（13台），包括中标华虹半导体1台多晶硅刻蚀设备和1台合金退火扩散炉；中标麦斯克电子8英寸硅外延项目26台多片式外延炉；中微公司共中标1台设备，是为华虹半导体提供1台刻蚀腔体；上海微电子装备共中标2台设备，是为华虹半导体提供提供2台晶圆激光退火设备；拓荆科技共中标1台设备，是为华虹宏力提供1台等离子化学气相沉积设备；精测半导体共中标3台设备，是为新昇半导体提供3台抛光片检测机；