事件：公司发布2022年年报及2023年一季报。

　　2022年全年收入高增长，23Q1客户验收节奏导致收入波动

　　2022年实现营收6.85亿元，同比+60%；归母净利润0.54亿元，同比+17%；扣非归母净利润0.2亿元，同比-26%。收入端实现高增长，主要系订单增速较快，光伏PERC及TOPCon等高效电池领域和半导体领域销量增长。2022年毛利率42.3%，同比下降3.5pct，净利率7.9%，同比下降2.9pct，毛利率波动主要原因系产品线扩张，部分低毛利设备确认收入所致。

　　2023年第一季度收入0.76亿元，同比下降43%；归母净利润-109万元，同比下降142%。收入和利润波动主要系客户项目实施和验收节奏所致：一季度验收项目规模较小，部分费用前置影响利润。预计2023年收入仍维持高速增长。

　　新签订单高增长，在手订单充沛业绩增长可期

　　2023年初至4月24日，公司新增专用设备订单22.74亿元，其中新增半导体设备订单2.42亿元，新增光伏设备订单20.16亿元，新增其他设备订单1580万元。截至2022年末，公司在手订单22.93亿，其中半导体设备订单2.57亿，光伏设备订单19.67亿。据此我们测算，截至4月末公司半导体在手订单约5亿元，约为22年半导体收入0.47亿的11倍，光伏在手订单约39亿，约为22年光伏设备收入5.01亿的8倍。截至2023年一季度末，公司合同负债9.48亿元，相较于2022年末增长3.2亿元，验证公司订单增速快。受益于半导体领域客户拓展及新品类驱动，以及光伏领域TOPCon等新型电池技术扩产，公司全年订单有望维持高增长。

　　半导体设备：ALD设备技术引领行业，拓展CVD设备市场空间打开

　　据公司22年报，半导体设备新增CVD和PE-ALD两类设备，CVD正在与客户试样，PE-ALD设备已签署合同处于产业化验证阶段。据SEMI，22年我国半导体设备市场规模283亿美元（约1900亿元），其中薄膜沉积设备市场规模约420亿元，ALD、CVD设备分别占薄膜沉积设备11%、57%，测算得ALD、CVD设备市场规模分别为46、239亿元，新品类延伸带动公司市场空间大幅扩展。

　　公司半导体ALD设备已在多个半导体细分应用领域取得订单：1）逻辑芯片领域，28nm High-k ALD设备获得客户验收并取得重复订单。2）存储芯片领域，ALD设备在高K栅电容介质层、介质覆盖层、电极、阻挡层等工艺中的优势使其被广泛应用于DRAM、3D-NAND、新型存储器等半导体制造领域。公司单片ALD设备已获得重复订单，批量型ALD设备获得客户订单，且为行业首台批量型ALD设备在存储芯片制造领域的应用。3）新型显示领域：ALD主要用于沉积硅基微型显示芯片的阻水阻氧保护层，公司已获得多个客户订单。4）化合物半导体领域，ALD技术适合生长超薄Al2O3、AlN等膜层作为钝化层和过渡层，保证器件具有良好的漏电和击穿性能，公司已取得客户订单。

　　光伏设备：光伏ALD设备龙头地位稳固，TOPCon设备获得头部客户批量订单

　　光伏领域公司优势设备为ALD设备，主要镀氧化铝层。在2022上半年TOPCon、xBC产线招标中，公司ALD设备中标产线规模均达75%。公司不断拓展产品线，从ALD设备拓展至TOPCon整线设备，可提供的TOPCon设备价值量提升至产线投资额的40-50%，并完成GW级别TOPCon整线设备验证。公司PE-Poly设备获得龙头客户认可，PE设备市占率有望提升。公司积极推进钙钛矿设备验证，设备可应用于钙钛矿/异质结叠层电池等的非晶/微晶、掺杂层、阻水阻氧、致密保护层等薄膜材料，已发往客户端验证。今年TOPCon迎扩产高峰，公司订单有望延续高增速。

　　盈利预测：2022年至今公司订单高速增长，预计将带动公司收入端快速增长；同时考虑到2023-2025年存在股权支付费用，我们预计23-25年利润率逐年提升。预计2023-2025年公司实现营收为14.0、23.5、35.4亿元，归母净利润1.01、2.17、4.09亿元，对应PE为239、111、59倍。维持“增持”评级。

　　风险提示：国内市场竞争加剧的风险、技术迭代及新产品开发风险、新产品验证进度及市场发展不及预期的风险、美国半导体管制加剧风险