高能同步辐射光源---“十三五”国家重大科技基础设施-韭研公社

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高能同步辐射光源---“十三五”国家重大科技基础设施

VicKing

无师自通的老股民

2023-09-19 23:57:13

高能同步辐射光源（HEPS）是中科院、北京市共建怀柔科学城的核心装置，由国家发展改革委批复立项，中科院高能所承担建设，为“十三五”国家重大科技基础设施。设施建成后，将成为世界上发射度最低、亮度最高的第四代同步辐射光源之一，最“亮”的光将帮助人类更细致观察微观物质的细节，为国家解决在资源、能源、环境、人口和健康等诸多领域面临的挑战提供科学基础。

2023年3月，HEPS增强器全线贯通、储存环隧道设备启动安装、光束线站前端区启动试安装，HEPS全面进入科研设备安装阶段，预计2025年完成交付并投入使用。

第四代同步辐射光源就特么是为 EUV光刻而生的!

1，同步辐射光源目前已经在建的是第四代。
2，四代同步辐射光源的特点是: -占地小(当然还是很大的，足球场);
-输入能量大为减少;
-输出光源亮度更大(四代完全达到光刻需求);
-频率可以精准控制，可以只输出13.5纳米的EUV(这一点以前是不行的，以前频谱是连续的);
一可以连续稳定工作(二代已经母天15小时，每年5000小时)。3，EUV从同步辐射光源出来就是高度平行光，连光路可以省去，直接掩膜曝光。
4，DUV对光刻胶挑肥拣瘦，十分敏感;但EUV可以固化一切遇到的光刻胶，不挑食。

5，我国建造一座三代同步辐射光源的投入是12亿元;一台阿斯麦 EUV光刻机是一亿美元，7亿人民币。
更劲爆的是:

四代同步辐射光源输出更短波长的 EUV，如3纳米，那是轻轻松松的事情

------以上内容摘自知乎空一格

科技进步才能解决卡脖子问题；写进规划里的项目是会开花结果的！！！