点评：

1、Q3单季度环比提升：公司实现营收4.68亿，yoy 79.19%，环比 12.66%；归母净利润1.29亿，yoy 65.87%，环比 7.81%；扣非归母净利润0.63亿；毛利率50.07%，环比 3.49pct；净利率27.36%，环比-1.31pct。

2、利润率维持高位，规模效应显现费用率下降：前三季度毛利率48.32%，yoy 2.54pct，基本维持在高位水平；销售净利率23.67%，yoy 8.41 pct，有明显的增长。销售/管理/财务/研发费用率分别为11.27%/4.44%/-0.91%/22.27%，yoy分别变化-2.89/-1.84/ 3.15/-12.38pct，期间费用率整体下降13.96pct（研发费用率下降主要为公司营收规模增加）。

3、分产品情况：前三季度营收9.92亿元中，PECVD设备收入8.88亿元，较上年同期增长175.17%，占比达到89.52%，相较于中报PECVD设备占比（89.29%）持平。根据半年报，上半年SACVD设备实现收入0.41亿元、ALD设备实现收入0.08亿元（根据历史出货情况，SACVD由于非标性单价变化相对较大，ALD设备单价预计800w左右），则Q3单季度SACVD ALD合计收入0.55亿元。

4、在手订单情况：公司合同负债9.22亿元，相较于二季度末环比下降15.14%，22年首次出现环比降低，我们判断主要是较多的转换为了发出商品。三季度末存货20.9亿元，相较于二季度末环比增长33.7%，根据中报及上年年报披露，预估其中70%-80%为发出商品和在产品，对应约14.63-16.72亿元。

5、股权激励彰显信心：10月1日，公司发布股权激励草案，拟向高级管理人员、核心技术人员等517人授予280万股限制性股票，同时向高级管理人员3人授予40万份股票增值权。解锁条件为：2022-2025年收入较2021年增长不低于100/200/300/400%，对应收入分别为15.16/22.74/30.32/37.90亿元，净利润增长目标分别为270/490/700/900%，对应净利润分别为2.53/4.04/5.48/6.85亿元。

  

🧧盈利预测：我们预计公司22-24年归母净利润分别为2.52亿、4.58亿、6.31亿，对应PS分别为22/14/10.

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