A股半导体设备相关上市企业目前数量有142家，2022年总体营业收入约为6368.45亿元，同比增加28.5%；归母净利润为704.5亿元，同比增加36.07%。

市场规模从2017年554.18亿元发展到2022年2745.15亿元，2023年半导体设备市场规模或将超过3032亿元。

半导体设备产业链包含单晶炉、扩散设备、清洗设备、氧化炉、PVD、PECVD、MOCVD等环节。

单晶炉公司主要包括晶升股份、沪硅产业、京运通；

扩散设备公司主要包括捷佳伟创；

清洗设备公司主要包括盛美上海、至纯科技、北方华创、芯源微；

氧化炉公司主要包括北方华创；

PVD公司主要包括北方华创；

PECVD公司主要包括北方华创、拓荆科技；

MOCVD公司主要包括中微公司、北方华创。

新莱应材：公司是国内唯一覆盖真空半导体、生物医药、食品安全三大领域的高洁净应用材料制造商，半导体刻蚀设备核心部件供应商。

北方华创：国内稀缺平台型泛半导体设备供应商，PVD机台是全球前三CIS封装企业首选。

张江高科：子公司间接参股上海微电子装备（集团）股份有限公司，其主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。

拓荆科技：国内半导体薄膜沉积设备领头企业，国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD和SACVD设备厂商。

中微公司：全球半导体刻蚀和薄膜沉积设备新星，号称国芯之光，是国产刻蚀设备领跑者。

至纯科技：国内高纯工艺系统及半导体装备领域主流合格供应商。