1.半导体设备零部件细分种类多，在半导体设备中价值占比高
1）从产业链上来看，半导体设备零部件处于偏上游的位置。按照各类零部件在设备上的不同功能，可其大致分为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气液输送类、光学类、热管理类等。
2）半导体设备零部件是半导体设备厂商最主要的营业成本来源，在半导体设备厂商营业成本中占90%左右，我们测算占半导体设备总价值量50%左右。
2.半导体设备零部件行业中国外厂商占据头部地位，国产化空间大
1）半导体零部件行业中国外厂商占据头部位置，国产率整体较低。根据芯谋研究，目前石英、喷淋头、边缘环等零部件国产化率达到10%以上，射频发生器、MFC、机械臂等零部件的国产化率在1%-5%，而阀门、静电卡盘、测量仪表等零部件的国产化率不足1%。
2）我们预测半导体设备零部件的全球市场规模可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元。我们预测中国大陆半导体设备零部件市场2022年预期规模为145亿美元，2030年预期市场规模约为180亿美元。
3.半导体产能向国内转移，国内厂商“横向”发展系机遇所在
1）半导体行业高景气，产能不断向国内转移。
2）复盘海外龙头公司成长路径。1）从短期看：在单一赛道夯实产品竞争力，是后续发展的基础；2）从中期看：横向拓展产品种类、纵向（部分）开拓下游应用是持续发展的两条路径，通过业务版图扩张，公司业绩天花板得以重塑；3）从长期看：“横+纵”向协同发力是持续成长的源动力。
3）横或纵向拓展业务版图是国内公司发展的必经之路。从国内公司现状来看，国内公司目前大多数仍处于发展的第一阶段，业务较为单一且整体体量较小，因此短期内借国产替代的东风提升拳头产品核心竞争力是第一要务；长期来看，横/纵（部分）向拓展业务版图是发展的必经之路。
4）横向拓展以发挥国产商家后发优势。海外厂商先发优势明显，Know how经验积累十分重要，国内公司很难能够在后发的情况下做成某一产品的绝对龙头，同时仅有部分赛道公司可实现由下而上的纵向拓展。我们认为横向拓展业务品类是国内设备零部件公司发展的必要途径，充分发挥后发优势。
4.投资建议
随着半导体行业不断向中国大陆转移，国内半导体设备零部件厂商迎来新机遇。我们看好国内厂商在单一赛道夯实产品竞争力后，拓张业务版图，重塑业绩天花板。建议关注：
（1）正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力
（2）江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破
（3）北方华创：业绩持续高增长，设备品类加速扩张
（4）新莱应材：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔
（5）华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长
（6）神工股份：轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速
（7）英杰电气：业绩稳定上升，新增订单全行业增长
（8）富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势
风险提示：海内外疫情反复风险、研发成果不及预期、下游需求不及预期、客户认证进度不及预期